检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

翘板式射频MEMS开关的研究被引量：1: 1; 作者刘茂哲李全宝 +4 位作者焦斌斌高超群罗小光景玉鹏叶甜春《微纳电子技术》 CAS 2008年第5期282-286,共5页; 提出了一种新型的翘板式静电射频微系统开关，给出了理论模拟，结构分析结果和工艺制作方法。该结构采用了5μm厚的无应力单晶硅作为开关的可动部分，可以缓解薄膜应力变形。翘板式结构解决了传统静电设计中动作力弱的问题，并且通过调... 展开更多; 关键词射频开关单晶硅微机电系统(MEMS) 静电驱动驱动电压共面波导(CPW); 在线阅读下载PDF 职称材料

基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关被引量：3: 2; 作者刘茂哲景玉鹏 +6 位作者李全宝焦斌斌黄钦文李超波欧毅陈大鹏叶甜春《电子工业专用设备》 2007年第1期15-17,61,共4页; RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单... 展开更多; 关键词射频微机械开关单晶硅梁静电驱动; 在线阅读下载PDF 职称材料

绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备被引量：7: 3; 作者高超群李全宝 +1 位作者刘茂哲景玉鹏《电子工业专用设备》 2008年第5期14-17,34,共5页; 传统半导体清洗技术无法对硅片上的微小器件间的缝隙和线条进行有效清洗,以超临界二氧化碳为媒体的清洗技术则可克服上述缺点。超临界二氧化碳具有零表面张力、低黏度、强扩散能力和溶解能力等特性,并且无毒无臭、可以循环使用,在下一... 展开更多; 关键词表面张力超临界二氧化碳清洗和干燥牺牲层释放; 在线阅读下载PDF 职称材料

电磁驱动RFMEMS开关的研究状况被引量：2: 4; 作者李全宝景玉鹏 +4 位作者刘茂哲陈大鹏欧毅马瑾叶甜春《电子工业专用设备》 2007年第1期18-20,30,共4页; RFMEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力,作为其核心器件的RFMEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件。电磁驱动RFMEMS开关具有工作电压比较低,驱动力大,可以工作在恶劣的环境等优点,使其成为近年来RFMEMS开关研究的一个热点。; 关键词 RF MEMS技术 RF MEMS开关电磁驱动工作电压驱动力; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名翘板式射频MEMS开关的研究被引量：1: 1; 作者刘茂哲李全宝焦斌斌高超群罗小光景玉鹏叶甜春; 机构中国科学院微电子研究所硅器件与集成技术研究室; 出处《微纳电子技术》 CAS 2008年第5期282-286,共5页; 基金中国科学院微电子所所长基金项目(06SF021002); 文摘提出了一种新型的翘板式静电射频微系统开关，给出了理论模拟，结构分析结果和工艺制作方法。该结构采用了5μm厚的无应力单晶硅作为开关的可动部分，可以缓解薄膜应力变形。翘板式结构解决了传统静电设计中动作力弱的问题，并且通过调整支点解决了开关回复力不可调的难题。利用该结构可以在保持高隔离度的同时使驱动电压降低，有限元理论模拟驱动电压为5～10V；采用翘板式结构增加了开关的使用周期，而且结构自身具有单刀双掷特点，可以直接应用于高频通信的频道选择。给出了开关共面波导传输线的测试结果和设计讨论。; 关键词射频开关单晶硅微机电系统(MEMS) 静电驱动驱动电压共面波导(CPW); Keywords radio-frequecy （RF） switch single crystal silicon microelectromechanical system （MEMS） electrostatic actuation actuatin voltage coplanar waveguide （CPW）; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械] TN304.12 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关被引量：3: 2; 作者刘茂哲景玉鹏李全宝焦斌斌黄钦文李超波欧毅陈大鹏叶甜春; 机构中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室; 出处《电子工业专用设备》 2007年第1期15-17,61,共4页; 基金国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210) 中国科学院微电子所所长基金支持项目; 文摘 RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单晶硅梁的推拉式静电RFMEMS开关结构,能够解决静电RFMEMS现有的缺陷。; 关键词射频微机械开关单晶硅梁静电驱动; Keywords RF MEMS switches Electrostatic actuation Relays; 分类号 TP271.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备被引量：7: 3; 作者高超群李全宝刘茂哲景玉鹏; 机构中国科学院微电子研究所硅器件与集成技术研究室; 出处《电子工业专用设备》 2008年第5期14-17,34,共5页; 文摘传统半导体清洗技术无法对硅片上的微小器件间的缝隙和线条进行有效清洗,以超临界二氧化碳为媒体的清洗技术则可克服上述缺点。超临界二氧化碳具有零表面张力、低黏度、强扩散能力和溶解能力等特性,并且无毒无臭、可以循环使用,在下一代半导体清洗和清洗后的干燥过程中有极强的应用前景。提出了一种绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备,它可实现超流体清洗和超临界干燥,二氧化碳循环使用,属于新型高效的下一代绿色半导体清洗设备。; 关键词表面张力超临界二氧化碳清洗和干燥牺牲层释放; Keywords Surface tension Supercritical point CO2 Clean and dry Release sacrificial layer; 分类号 TN305.97 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电磁驱动RFMEMS开关的研究状况被引量：2: 4; 作者李全宝景玉鹏刘茂哲陈大鹏欧毅马瑾叶甜春; 机构山东大学物理与微电子学院中国科学院微电子研究所; 出处《电子工业专用设备》 2007年第1期18-20,30,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(批准号:60576053) 国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210) 中国科学院微电子所所长基金支持项目; 文摘 RFMEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力,作为其核心器件的RFMEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件。电磁驱动RFMEMS开关具有工作电压比较低,驱动力大,可以工作在恶劣的环境等优点,使其成为近年来RFMEMS开关研究的一个热点。; 关键词 RF MEMS技术 RF MEMS开关电磁驱动工作电压驱动力; Keywords RF MEMS technology RF MEMS switches Electro-magnetically actuated Operating voltage Driving force; 分类号 TP271.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	翘板式射频MEMS开关的研究	刘茂哲李全宝焦斌斌高超群罗小光景玉鹏叶甜春	《微纳电子技术》 CAS	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关	刘茂哲景玉鹏李全宝焦斌斌黄钦文李超波欧毅陈大鹏叶甜春	《电子工业专用设备》	2007	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备	高超群李全宝刘茂哲景玉鹏	《电子工业专用设备》	2008	7	在线阅读下载PDF 职称材料
4	电磁驱动RFMEMS开关的研究状况	李全宝景玉鹏刘茂哲陈大鹏欧毅马瑾叶甜春	《电子工业专用设备》	2007	2	在线阅读下载PDF 职称材料