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题名用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数
被引量：10
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作者
刘细成
王植恒
廖清君
赖成军
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机构
四川大学物理学院
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期94-96,112,共4页
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文摘
提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法 ,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图。为了验证此方法的准确性和可行性 ,先进行了计算模拟 ,然后对SiNx 薄膜进行了测量。模拟结果与理论值非常接近 ,根据实验结果恢复出来的曲线与原始实验曲线吻合得很好。此方法具有非破坏性、测量简单、操作方便、稳定性好和计算收敛速度快、精度高等特点。
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关键词
透射光谱
模拟退火
薄膜
光学常数
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Keywords
transmission spectra
simulated annealing
thin film
optical constant
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分类号
O484.32
[理学—固体物理]
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题名正确使用多次测量法提高椭偏测量精度
被引量：4
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作者
王芳宁
王植恒
刘细成
刘洋
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机构
四川大学物理学院
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期32-34,共3页
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文摘
通过分析椭偏测量的复杂性可知椭偏角高精度测量的重要性 ,针对曾认为可提高测量精度的多角度测量法在不恰当地增加入射角时极易破坏求解收敛性得到伪解的情况 ,提出了在测量误差一定和合适数目的多入射角时分别进行单角度多次数测量椭偏角来提高薄膜参数精度的方法 ,并对不同搜索范围和不同测量误差时的诸多情况进行了大量模拟计算。此方法能有效避开伪解、得到高精度的稳定真值 ,是提高椭偏测量精度的有效方法之一。
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关键词
多次测量法
椭偏测量
椭圆偏振
薄膜
测量精度
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Keywords
ellipsometry
thin films
multi-times measurement method
precision
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分类号
TH744.2
[机械工程—光学工程]
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