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图形化蓝宝石衬底干法刻蚀工艺研究
被引量：
1
1
作者
侯想
刘熠新
+5 位作者
钟梦洁
林赛
刘杨
罗荣煌
罗学涛
张飒
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第24期3001-3007,共7页
为了缩短刻蚀时间以及提高发光二极管(LEDs)的发光性能,针对添加刻蚀辅助气体三氟甲烷(CHF_(3))的干法刻蚀工艺进行了研究。采用感应耦合等离子(ICP)干法刻蚀技术并通过正交试验研究了偏压功率、CHF_(3)流量、自动压力控制蝶阀开合度(A...
为了缩短刻蚀时间以及提高发光二极管(LEDs)的发光性能,针对添加刻蚀辅助气体三氟甲烷(CHF_(3))的干法刻蚀工艺进行了研究。采用感应耦合等离子(ICP)干法刻蚀技术并通过正交试验研究了偏压功率、CHF_(3)流量、自动压力控制蝶阀开合度(APC)对刻蚀速率和选择比的影响。试验结果表明:当偏压功率、CHF_(3)流量和APC分别为350W、15 sccm和55%时,制程工艺有着更大的刻蚀选择比和蓝宝石刻蚀速率。使用最佳工艺参数制备出了大尺寸、高占空比、小弧度图形化蓝宝石衬底(PSS),与常规PSS相比,优化后的工艺参数制得的PSS高度增加了5.6%、占空比提高了4.6%。
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关键词
图形化蓝宝石衬底(PSS)
三氟甲烷
刻蚀选择比
正交试验
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职称材料
题名
图形化蓝宝石衬底干法刻蚀工艺研究
被引量：
1
1
作者
侯想
刘熠新
钟梦洁
林赛
刘杨
罗荣煌
罗学涛
张飒
机构
福建中晶科技有限公司
厦门大学材料学院
厦门大学福建省特种先进材料重点实验室
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第24期3001-3007,共7页
基金
校企合作项目(XDHT2020182A)。
文摘
为了缩短刻蚀时间以及提高发光二极管(LEDs)的发光性能,针对添加刻蚀辅助气体三氟甲烷(CHF_(3))的干法刻蚀工艺进行了研究。采用感应耦合等离子(ICP)干法刻蚀技术并通过正交试验研究了偏压功率、CHF_(3)流量、自动压力控制蝶阀开合度(APC)对刻蚀速率和选择比的影响。试验结果表明:当偏压功率、CHF_(3)流量和APC分别为350W、15 sccm和55%时,制程工艺有着更大的刻蚀选择比和蓝宝石刻蚀速率。使用最佳工艺参数制备出了大尺寸、高占空比、小弧度图形化蓝宝石衬底(PSS),与常规PSS相比,优化后的工艺参数制得的PSS高度增加了5.6%、占空比提高了4.6%。
关键词
图形化蓝宝石衬底(PSS)
三氟甲烷
刻蚀选择比
正交试验
Keywords
patterned sapphire substrate(PSS)
trifluoromethane(CHF3)
etch selectivity
orthogonal test
分类号
TN312.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
图形化蓝宝石衬底干法刻蚀工艺研究
侯想
刘熠新
钟梦洁
林赛
刘杨
罗荣煌
罗学涛
张飒
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
1
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