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沉积压强对AlCrSiN/Mo自润滑涂层结构及性能的影响
1
作者
王重阳
刘艳梅
+7 位作者
连伟锋
张银行
何猛
薛锐
吕源江
刘大桐
徐远剑
王铁钢
《材料工程》
2025年第9期219-228,共10页
为解决AlCrSiN涂层刀具在干切削时因摩擦因数高导致切削温度急剧上升,严重缩短刀具使用寿命的难题,通过在AlCrSiN涂层中掺杂第六副族Mo元素改善涂层摩擦学性能。采用高功率脉冲磁控溅射与脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术,在不同沉积压强...
为解决AlCrSiN涂层刀具在干切削时因摩擦因数高导致切削温度急剧上升,严重缩短刀具使用寿命的难题,通过在AlCrSiN涂层中掺杂第六副族Mo元素改善涂层摩擦学性能。采用高功率脉冲磁控溅射与脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术,在不同沉积压强下制备AlCrSiN/Mo涂层,调控涂层成分及结构,利用扫描电镜、电子探针分析仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪、划痕测试仪及摩擦磨损试验机对涂层的成分结构、力学性能及摩擦学性能进行表征。结果表明:随着沉积压强增加,涂层择优生长取向由(111)晶面转变为(200)晶面,组织结构变得更加致密;涂层的临界载荷从65.6 N逐渐增至82.0 N,但沉积速率呈线性降低。当沉积压强为1.6 Pa时,涂层的硬度与弹性模量均达到最高值,分别为20.6 GPa和394.3 GPa;特征值H/E与H3/E2也达到最大,分别为0.052 GPa和0.046 GPa,此时涂层摩擦学性能最佳,摩擦因数与磨损率分别为0.59与1.52×10^(-3)μm^(3)·N^(-1)·μm^(-1)。
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关键词
沉积压强
AlCrSiN/Mo
弹性模量
H/E
磨损率
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职称材料
题名
沉积压强对AlCrSiN/Mo自润滑涂层结构及性能的影响
1
作者
王重阳
刘艳梅
连伟锋
张银行
何猛
薛锐
吕源江
刘大桐
徐远剑
王铁钢
机构
天津职业技术师范大学天津市高速切削与精密加工重点实验室
出处
《材料工程》
2025年第9期219-228,共10页
基金
天津市多元投入基金重点项目(22JCZDJC00670)
天津市教委科研计划项目(2021ZD005,2022ZD020,2022ZD033)。
文摘
为解决AlCrSiN涂层刀具在干切削时因摩擦因数高导致切削温度急剧上升,严重缩短刀具使用寿命的难题,通过在AlCrSiN涂层中掺杂第六副族Mo元素改善涂层摩擦学性能。采用高功率脉冲磁控溅射与脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术,在不同沉积压强下制备AlCrSiN/Mo涂层,调控涂层成分及结构,利用扫描电镜、电子探针分析仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪、划痕测试仪及摩擦磨损试验机对涂层的成分结构、力学性能及摩擦学性能进行表征。结果表明:随着沉积压强增加,涂层择优生长取向由(111)晶面转变为(200)晶面,组织结构变得更加致密;涂层的临界载荷从65.6 N逐渐增至82.0 N,但沉积速率呈线性降低。当沉积压强为1.6 Pa时,涂层的硬度与弹性模量均达到最高值,分别为20.6 GPa和394.3 GPa;特征值H/E与H3/E2也达到最大,分别为0.052 GPa和0.046 GPa,此时涂层摩擦学性能最佳,摩擦因数与磨损率分别为0.59与1.52×10^(-3)μm^(3)·N^(-1)·μm^(-1)。
关键词
沉积压强
AlCrSiN/Mo
弹性模量
H/E
磨损率
Keywords
deposition pressure
AlCrSiN/Mo
elastic modulus
H/E
wear rate
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
沉积压强对AlCrSiN/Mo自润滑涂层结构及性能的影响
王重阳
刘艳梅
连伟锋
张银行
何猛
薛锐
吕源江
刘大桐
徐远剑
王铁钢
《材料工程》
2025
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