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用电子显微镜剖析存储器器件被引量：3: 1; 作者刘剑霜谢锋 +1 位作者陈一胡刚《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期68-71,共4页; 简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到比较全面的分析结果。; 关键词电子显微镜存储器透射电镜栅氧化层集成电路 IC微结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

扫描电子显微镜被引量：14: 2; 作者刘剑霜谢锋 +2 位作者吴晓京陈一胡刚《上海计量测试》 2003年第6期37-39,共3页; 随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界.细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题.目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,... 展开更多; 关键词扫描电子显微镜二次电子特征x射线背散射电子; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅中缺陷的透射电镜观察被引量：1: 3; 作者谢锋刘剑霜 +1 位作者陈一胡刚《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期28-30,66,共4页; 随着集成电路制造工艺技术的不断进步,器件线宽不断减小,硅材料中缺陷的危害越来越不可忽视。通过TEM观察了硅中氧沉积、工艺诱生缺陷等并对之进行了分析。; 关键词集成电路透射电镜硅氧沉积二次缺陷; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于高亮LED的Si键合研究: 4; 作者王书昶林岳明 +4 位作者李伙全刘剑霜张俊兵金豫浙曾祥华《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期436-439,共4页; 在Si和外延层之间使用一层薄金属层作为高效反射镜的所谓"镜面衬底",不但有助于提高芯片的出光效率,同时把键合温度降低到300℃以下。利用Au/In合金的方法,来实现用于高亮LED的Si片与AlGaInP四元外延片的键合。实验表明,在温... 展开更多; 关键词硅键合 Au/In合金 AlGaInP外延片发光二极管镜面衬底; 在线阅读下载PDF 职称材料

SEM与TEM半导体分析的比较: 5; 作者胡刚陈一 +2 位作者谢锋刘剑霜朱烨《集成电路应用》 2003年第3期51-52,共2页; 本文简要介绍扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的特点。分别介绍它们在半导体分析中的一些特点与局限。SEM分析与TEM分析在半导体显微分析中分别承担着各自任务,它们之间的关系是互补的关系。; 关键词 SEM TEM 半导体扫描电镜透射电镜显微技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

半导体制造中的电子显微分析: 6; 作者谢锋刘剑霜 +1 位作者陈一胡刚《集成电路应用》 2003年第2期44-45,49,共3页; 集成电路的特征尺寸越来越小,电子显微分析在微电子制造中成为不可缺少、不可替代的重要分析手段。本文根据扫描电子显微镜(SEM)及透射电子显微镜(TEM)在实际分析中的特长与局限,主要就仪器分辨率与结果的精确度的问题,讨论如何将两种... 展开更多; 关键词半导体制造电子显微分析扫描电子显微镜透射电子显微镜分辨率精确度 SEM TEM; 在线阅读下载PDF 职称材料

将工程教育融入初中物理课堂的教学实践——以学生制作浮沉子和简易密度计为例: 7; 作者宋云云刘剑霜《物理教学探讨》 2019年第12期61-62,共2页; 工程教育不仅对国家未来的创新能力和竞争力有决定性影响,而且是人类生存和发展的必要基础。文章以学生实践活动——制作浮沉子和简易密度计为例,试图把工程教育融入初中物理课堂教学中,努力激发和培养学生的工程意识和工程实践能力。; 关键词工程教育初中物理课堂教学浮沉子简易密度计; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用电子显微镜剖析存储器器件被引量：3: 1; 作者刘剑霜谢锋陈一胡刚; 机构复旦大学材料科学系国家微分析中心; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期68-71,共4页; 文摘简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到比较全面的分析结果。; 关键词电子显微镜存储器透射电镜栅氧化层集成电路 IC微结构; Keywords SEM TEM gate oxide layer; 分类号 TP333 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名扫描电子显微镜被引量：14: 2; 作者刘剑霜谢锋吴晓京陈一胡刚; 机构复旦大学材料科学系国家微分析中心; 出处《上海计量测试》 2003年第6期37-39,共3页; 文摘随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界.细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题.目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜.电子显微镜可分为扫描电子显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类.; 关键词扫描电子显微镜二次电子特征x射线背散射电子; 分类号 TH742 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅中缺陷的透射电镜观察被引量：1: 3; 作者谢锋刘剑霜陈一胡刚; 机构复旦大学国家微分析中心TEM实验室; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期28-30,66,共4页; 文摘随着集成电路制造工艺技术的不断进步,器件线宽不断减小,硅材料中缺陷的危害越来越不可忽视。通过TEM观察了硅中氧沉积、工艺诱生缺陷等并对之进行了分析。; 关键词集成电路透射电镜硅氧沉积二次缺陷; Keywords TEM oxygen precipitate induced defect; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN16 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于高亮LED的Si键合研究: 4; 作者王书昶林岳明李伙全刘剑霜张俊兵金豫浙曾祥华; 机构扬州大学物理科学与技术学院扬州华夏集成光电有限公司; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期436-439,共4页; 基金江苏省科技项目(BG2007026) 扬州大学自然科学基金项目(2006XJJ02); 文摘在Si和外延层之间使用一层薄金属层作为高效反射镜的所谓"镜面衬底",不但有助于提高芯片的出光效率,同时把键合温度降低到300℃以下。利用Au/In合金的方法,来实现用于高亮LED的Si片与AlGaInP四元外延片的键合。实验表明,在温度为250℃时,利用Au/In作为焊料,Si片与AlGaInP四元外延片可以实现比较好的键合,键合面可以达到60%。通过研磨减薄、X-ray测试和扫描电镜(SEM)测试得出键合面的界面特性,通过能谱分析得出键合面的物质分别为AuIn2和AuIn,实验测试得出此时Au的原子数占33.31%,In的原子数占36.64%。; 关键词硅键合 Au/In合金 AlGaInP外延片发光二极管镜面衬底; Keywords Si bonding Au/In alloy AlGaInP wafer LED mirror substrate; 分类号 TN305.96 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名SEM与TEM半导体分析的比较: 5; 作者胡刚陈一谢锋刘剑霜朱烨; 机构复旦大学材料系; 出处《集成电路应用》 2003年第3期51-52,共2页; 文摘本文简要介绍扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的特点。分别介绍它们在半导体分析中的一些特点与局限。SEM分析与TEM分析在半导体显微分析中分别承担着各自任务,它们之间的关系是互补的关系。; 关键词 SEM TEM 半导体扫描电镜透射电镜显微技术; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名半导体制造中的电子显微分析: 6; 作者谢锋刘剑霜陈一胡刚; 机构复旦大学材料系; 出处《集成电路应用》 2003年第2期44-45,49,共3页; 文摘集成电路的特征尺寸越来越小,电子显微分析在微电子制造中成为不可缺少、不可替代的重要分析手段。本文根据扫描电子显微镜(SEM)及透射电子显微镜(TEM)在实际分析中的特长与局限,主要就仪器分辨率与结果的精确度的问题,讨论如何将两种分析技术有机地结合起来,扬长避短,取得最佳效果。; 关键词半导体制造电子显微分析扫描电子显微镜透射电子显微镜分辨率精确度 SEM TEM; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名将工程教育融入初中物理课堂的教学实践——以学生制作浮沉子和简易密度计为例: 7; 作者宋云云刘剑霜; 机构扬州大学物理科学与技术学院; 出处《物理教学探讨》 2019年第12期61-62,共2页; 文摘工程教育不仅对国家未来的创新能力和竞争力有决定性影响,而且是人类生存和发展的必要基础。文章以学生实践活动——制作浮沉子和简易密度计为例,试图把工程教育融入初中物理课堂教学中,努力激发和培养学生的工程意识和工程实践能力。; 关键词工程教育初中物理课堂教学浮沉子简易密度计; 分类号 G633.7 [文化科学—教育学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	用电子显微镜剖析存储器器件	刘剑霜谢锋陈一胡刚	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2004	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	扫描电子显微镜	刘剑霜谢锋吴晓京陈一胡刚	《上海计量测试》	2003	14	在线阅读下载PDF 职称材料
3	硅中缺陷的透射电镜观察	谢锋刘剑霜陈一胡刚	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2004	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	用于高亮LED的Si键合研究	王书昶林岳明李伙全刘剑霜张俊兵金豫浙曾祥华	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2010	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	SEM与TEM半导体分析的比较	胡刚陈一谢锋刘剑霜朱烨	《集成电路应用》	2003	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	半导体制造中的电子显微分析	谢锋刘剑霜陈一胡刚	《集成电路应用》	2003	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	将工程教育融入初中物理课堂的教学实践——以学生制作浮沉子和简易密度计为例	宋云云刘剑霜	《物理教学探讨》	2019	0	在线阅读下载PDF 职称材料