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电容式加速度计单芯片开环检测电路的研制
1
作者
王岳生
徐世六
+1 位作者
刘伦才
黄文刚
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期596-600,共5页
针对MEMS电容式加速度传感器,成功地研制出了一种单芯片集成检测电路。与国内常用的闭环结构不同,本电路采用的是开环检测电路。当电源电压为5V时,测得系统功耗为9 mW,灵敏度为15.8mV/g,线性误差为1.8%,噪声电压的峰峰值小于200μV(12.6...
针对MEMS电容式加速度传感器,成功地研制出了一种单芯片集成检测电路。与国内常用的闭环结构不同,本电路采用的是开环检测电路。当电源电压为5V时,测得系统功耗为9 mW,灵敏度为15.8mV/g,线性误差为1.8%,噪声电压的峰峰值小于200μV(12.6 mg),测量范围为+/-100g。
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关键词
微电子机械系统
加速度计
低噪声
低功耗
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职称材料
题名
电容式加速度计单芯片开环检测电路的研制
1
作者
王岳生
徐世六
刘伦才
黄文刚
机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
模拟集成电路国家级重点实验室
中国电子科技集团公司第二十四研究所
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期596-600,共5页
文摘
针对MEMS电容式加速度传感器,成功地研制出了一种单芯片集成检测电路。与国内常用的闭环结构不同,本电路采用的是开环检测电路。当电源电压为5V时,测得系统功耗为9 mW,灵敏度为15.8mV/g,线性误差为1.8%,噪声电压的峰峰值小于200μV(12.6 mg),测量范围为+/-100g。
关键词
微电子机械系统
加速度计
低噪声
低功耗
Keywords
MEMS
accelerometer
lower noise
lower power consumption
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电容式加速度计单芯片开环检测电路的研制
王岳生
徐世六
刘伦才
黄文刚
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2010
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