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基于离子束抛光的KDP晶体表面嵌入铁粉清洗研究
被引量：
8
1
作者
袁征
戴一帆
+3 位作者
解旭辉
周林
关朝亮
冯殊瑞
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期582-586,597,共6页
磁流变抛光技术是实现KDP晶体超精密加工的新方法,但磁流变液中的铁粉容易嵌入质软的KDP晶体表面。本文提出了利用基于低能离子溅射原理的离子束抛光技术去除KDP表面嵌入的铁粉。利用红外拉曼光谱和白光干涉仪分别分析了低能离子束抛光...
磁流变抛光技术是实现KDP晶体超精密加工的新方法,但磁流变液中的铁粉容易嵌入质软的KDP晶体表面。本文提出了利用基于低能离子溅射原理的离子束抛光技术去除KDP表面嵌入的铁粉。利用红外拉曼光谱和白光干涉仪分别分析了低能离子束抛光前后KDP晶体表面物质结构变化和表面粗糙度的变化;结果显示,低能离子束溅射不改变KDP晶体表面的组成结构,并改善了KDP晶体表面质量,因此离子束抛光可用于KDP晶体的加工;利用飞行时间二次离子质谱分析技术分别对单点金刚石车削、磁流变抛光和低能离子束抛光后的KDP晶体表面进行元素分析,结果显示低能离子束抛光可有效去除磁流变抛光在KDP晶体表面嵌入的铁粉。
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关键词
KDP晶体
磁流变抛光
离子束抛光
铁粉去除
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职称材料
题名
基于离子束抛光的KDP晶体表面嵌入铁粉清洗研究
被引量：
8
1
作者
袁征
戴一帆
解旭辉
周林
关朝亮
冯殊瑞
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期582-586,597,共6页
基金
国家自然科学基金(91023042)
文摘
磁流变抛光技术是实现KDP晶体超精密加工的新方法,但磁流变液中的铁粉容易嵌入质软的KDP晶体表面。本文提出了利用基于低能离子溅射原理的离子束抛光技术去除KDP表面嵌入的铁粉。利用红外拉曼光谱和白光干涉仪分别分析了低能离子束抛光前后KDP晶体表面物质结构变化和表面粗糙度的变化;结果显示,低能离子束溅射不改变KDP晶体表面的组成结构,并改善了KDP晶体表面质量,因此离子束抛光可用于KDP晶体的加工;利用飞行时间二次离子质谱分析技术分别对单点金刚石车削、磁流变抛光和低能离子束抛光后的KDP晶体表面进行元素分析,结果显示低能离子束抛光可有效去除磁流变抛光在KDP晶体表面嵌入的铁粉。
关键词
KDP晶体
磁流变抛光
离子束抛光
铁粉去除
Keywords
KDP crystal
magnetorheological figuring （MRF）
ion beam figuring （IBF）
iron powdersremoving
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
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题名
作者
出处
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被引量
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1
基于离子束抛光的KDP晶体表面嵌入铁粉清洗研究
袁征
戴一帆
解旭辉
周林
关朝亮
冯殊瑞
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
8
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