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多离子束反应溅射室温沉积PbTiO_3薄膜的结晶性能被引量：2: 1; 作者朱建国彭文斌 +3 位作者张文陈猛肖定全兰发华《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第4期437-440,共4页; 为了将铁电薄膜与半导体器件集成，发展了新的铁电薄膜制备技术。快速退火（ＲＴＰ）由于可以降低铁电薄膜的制备温度、改善铁电薄膜与半导体器件兼容性质，因而倍受人们的关注。用多离子束反应共溅射装置在室温下制备了ＰｂＴｉＯ３薄... 展开更多; 关键词铁电薄膜半导体溅射法结晶; 在线阅读下载PDF 职称材料

微波介电陶瓷与微波磁介电陶瓷被引量：5: 2; 作者杜若昕兰发华肖定全《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 1996年第4期255-259,共5页; 微波陶瓷的应用越来越受到人们的重视。文章概括介绍了二元系微波介电陶瓷ＢａＯ－ＴｉＯ２和微波磁性陶瓷ＢａＯ—Ｆｅ２Ｏ３，以及三元系微波磁介电陶瓷ＢａＯ—Ｆｅ２Ｏ３—ＴｉＯ２的研究情况，并对预期进展作了展望。; 关键词微波陶瓷磁介电陶瓷非磁性微波介质陶瓷; 在线阅读下载PDF 职称材料

多离子束反应共溅射制备PbTiO_3铁电薄膜的微结构研究: 3; 作者彭文斌陈猛 +2 位作者朱建国兰发华肖定全《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第4期449-450,共2页; 本文利用多离子束反应共溅射装置，分别在Ｓｉ和ＭｇＯ衬底上原位制备了ＰｂＴｉ氧化物薄膜。研究表明，利用多离子束反应共溅射技术，可以显著降低薄膜后续热处理的温度；薄膜中焦绿石结构的消失温度与薄膜中Ｐｂ的含量有关；较之Ｓ... 展开更多; 关键词多离子束反应共溅射铁电薄膜半导体薄膜技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	多离子束反应溅射室温沉积PbTiO_3薄膜的结晶性能	朱建国彭文斌张文陈猛肖定全兰发华	《电子显微学报》 CAS CSCD	1997	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	微波介电陶瓷与微波磁介电陶瓷	杜若昕兰发华肖定全	《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心	1996	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	多离子束反应共溅射制备PbTiO_3铁电薄膜的微结构研究	彭文斌陈猛朱建国兰发华肖定全	《电子显微学报》 CAS CSCD	1997	0	在线阅读下载PDF 职称材料