基于激光干涉仪同步测量的动态校准装置 被引量：1

1

作者 任瑜 胡晓磊 +2 位作者 郭志敏 傅云霞 张丰 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期349-355,共7页

为满足时变几何量的瞬时动态测试需求,研制了一种基于激光干涉仪同步测量的动态校准装置。该装置采用直线运动导轨和运动发生器、长度标准器激光干涉仪,以基于GNSS驯服时钟的同步触发器实现同步测量并确保时间准确稳定,并使用动态校准... 为满足时变几何量的瞬时动态测试需求,研制了一种基于激光干涉仪同步测量的动态校准装置。该装置采用直线运动导轨和运动发生器、长度标准器激光干涉仪,以基于GNSS驯服时钟的同步触发器实现同步测量并确保时间准确稳定,并使用动态校准软件实现控制一体化。经综合分析激光干涉仪的最大允许误差、直线运动导轨的直线度、环境因素、触发信号间时延及激光干涉仪测量时延等因素,该装置的长度示值的测量不确定度为Q[1.8μm,3×10^(-7)L](k=2)。与同型号激光干涉仪的比对实验和激光跟踪仪瞬时长度测试实验,证明了不确定度评定的合理性以及该装置在瞬时动态准确度测试中的可行性。 展开更多

关键词 几何量计量 动态校准 激光干涉仪 同步测量 大尺寸测量 时变几何量

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基于矢量衍射理论的光栅干涉仪位移测量误差研究 被引量：1

2

作者 雷李华 张玉杰 傅云霞 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期90-97,共8页

光栅干涉仪位移测量系统作为测量领域中最精密的测量仪器之一,由于在测量过程中光栅的姿态位置无法保证完美装配,使得光栅的光栅矢量方向与运动矢量方向之间出现偏差,导致位移测量结果出现周期性非线性误差。文中针对在光栅干涉仪位移... 光栅干涉仪位移测量系统作为测量领域中最精密的测量仪器之一,由于在测量过程中光栅的姿态位置无法保证完美装配,使得光栅的光栅矢量方向与运动矢量方向之间出现偏差,导致位移测量结果出现周期性非线性误差。文中针对在光栅干涉仪位移测量过程中出现的光栅与位移台以及读数头之间的姿态位置误差进行分析,通过分别建立位移坐标系及光栅坐标系,参考惯性导航领域中飞行器姿态表示方法,利用一维光栅的横滚、俯仰和偏航角共同描述一维光栅相对于位移台的装配状态。通过基于矢量衍射理论分析光栅干涉仪位移测量时三个维度的角度偏差量,对可能产生的位移测量误差进行了分析说明。基于广义一维光栅方程,探究出了一个更为普遍的结论,为后续装置的改进提供理论依据,以提高系统的测量精度。 展开更多

关键词 精密位移测量 光栅干涉仪 光栅矢量衍射 周期性误差

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基于改进U-Net网络的相位解包裹技术研究 被引量：2

3

作者 徐瑞书 罗笑南 +5 位作者 沈瑶琼 郭创为 张文涛 管钰晴 傅云霞 雷李华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期120-133,共14页

提出了一种结合深度学习的空间相位解包裹方法,采用基于改进U-Net网络的编码器-解码器架构,同时加入包含双向长短期记忆网络(BILSTM)的CBiLSTM模块,并且结合注意力机制,避免了典型卷积神经网络学习全局空间依赖关系的固有缺陷的同时增... 提出了一种结合深度学习的空间相位解包裹方法,采用基于改进U-Net网络的编码器-解码器架构,同时加入包含双向长短期记忆网络(BILSTM)的CBiLSTM模块,并且结合注意力机制,避免了典型卷积神经网络学习全局空间依赖关系的固有缺陷的同时增强了深度学习模型对相位解包裹任务中的关键信息的关注能力。通过大量的模拟数据,验证了文中方法在严重噪声(SNR=0)、不连续条件和混叠条件下的鲁棒性,在以上三种情况下,同其他深度学习网络模型进行对比,文中所提出的网络模型的归一化均方根误差(NRMSE)分别为0.75%、1.81%和1.68%;结构相似性指数(SSIM)分别为0.98、0.92和0.94;峰值信噪比(PSNR)分别为40.87、32.56、37.38;同时计算时间显著减少,适合应用到需要快速准确的空间相位解包裹任务中去。通过实际测量数据,验证了文中提出网络模型的可行性。该研究将双向长短期记忆网络(BILSTM)和注意力机制同时引入光学相位解包裹问题中,为解决复杂相位场的解包裹提供了新的思路和方案。 展开更多

关键词 相位解包裹 深度学习 注意力机制 长短期记忆网络 卷积神经网络

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基于曲面拟合的光学偏折系统显示屏标定方法

4

作者 郭创为 管钰晴 +6 位作者 沈瑶琼 徐瑞书 朱言瑧 刘丽琴 张玉杰 雷李华 傅云霞 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期419-424,共6页

针对透射式光学偏折系统中最关键的标定环节,提出使用曲面拟合方式拟合显示屏幕面形分布。建立基于透射式光学偏折术的波前检测仿真模型,分析两种不同的显示屏面形拟合方法对波前测量的影响。仿真结果显示:平面屏幕模型波前像差均方根误... 针对透射式光学偏折系统中最关键的标定环节,提出使用曲面拟合方式拟合显示屏幕面形分布。建立基于透射式光学偏折术的波前检测仿真模型,分析两种不同的显示屏面形拟合方法对波前测量的影响。仿真结果显示:平面屏幕模型波前像差均方根误差(RMS)值为0.8375μm,而曲面屏幕模型仿真波前像差RMS值仅为0.0596μm。采用透射式光学偏折系统对球面透镜进行波前测量,曲面屏幕模型中波前像差RMS值为0.1371μm,平面屏幕模型中波前像差RMS值为1.4326μm。实验结果表明:使用曲面拟合效果明显优于平面拟合效果,证明了曲面拟合屏幕模型的可行性。 展开更多

关键词 光学计量 透射式光学偏折术 显示屏标定 波前测量 曲面拟合

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1等标准光滑圆柱环规检测装置 被引量：1

5

作者 傅云霞 祝逸庆 孙桂清 《上海计量测试》 2006年第4期13-15,共3页

本装置是在具有高精度导轨的SIP三坐标测量机上,架设激光干涉仪作为测量标准器,利用电感测微仪作为瞄准器,使测量可以直接溯源到激光波长,实现了1等标准光滑圆柱环规的高精度测量。装置对Φ50mm标准环规直径测量的不确定度达到了0.15μ... 本装置是在具有高精度导轨的SIP三坐标测量机上,架设激光干涉仪作为测量标准器,利用电感测微仪作为瞄准器,使测量可以直接溯源到激光波长,实现了1等标准光滑圆柱环规的高精度测量。装置对Φ50mm标准环规直径测量的不确定度达到了0.15μm。通过与瑞士国家计量局和国家计量院的比对测量证实,无论在国内还是国际环规测量方面,该装置已达到先进水平。 展开更多

关键词 激光干涉仪 1等标准环规 直径测量 比对测量

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我院护理队伍的建设与管理

6

作者 傅云霞 安继梅 《护理学杂志（综合版）》 1996年第3期175-176,共2页

我院护理队伍的建设与管理湖北中医学院附属医院傅云霞，安继梅我院护理部按照三级甲等中医医院标准对全院的护理工作实行目标管理，并对护理队伍的建设大胆探索，从护士长的选拔与使用、中医护理特色的突出、临床护理教学及自动化系统... 我院护理队伍的建设与管理湖北中医学院附属医院傅云霞，安继梅我院护理部按照三级甲等中医医院标准对全院的护理工作实行目标管理，并对护理队伍的建设大胆探索，从护士长的选拔与使用、中医护理特色的突出、临床护理教学及自动化系统应用等方面着重培养护理人才，逐步建... 展开更多

关键词 护理管理 护理队伍 组织管理

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纳米尺度标准样片光学表征方法的研究 被引量：8

7

作者 李源 雷李华 +3 位作者 高婧 傅云霞 蔡潇雨 吴俊杰 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第6期406-412,共7页

重点研究了纳米尺度标准样片的光学表征方法。采用基于纳米测量机(NMM)的激光聚焦传感器(LFS)和扫描白光干涉传感器(SWLIS)分别对平面尺度的标准样片和台阶标准样片进行了测量、分析与比较。实验结果表明,利用该纳米测量机LFS对标定值为... 重点研究了纳米尺度标准样片的光学表征方法。采用基于纳米测量机(NMM)的激光聚焦传感器(LFS)和扫描白光干涉传感器(SWLIS)分别对平面尺度的标准样片和台阶标准样片进行了测量、分析与比较。实验结果表明,利用该纳米测量机LFS对标定值为3μm的TGZ1一维栅格样片进行测量,其扩展不确定度为4.2 nm,实现了精确表征。利用SWLIS测量方法对标定值为49.217μm的SHS8-50.0高台阶标准样板进行测量,测量不确定度分析结果为0.065 7μm,实现了采用光学检测技术跨尺度对纳米尺度精密器件和结构进行表征。扩大了基于纳米测量机光学表征方法的应用范围,有利于纳米几何量量值溯源体系的建立。 展开更多

关键词 纳米尺度标准样片 光学表征方法 跨尺度 镀膜技术 表面粗糙度

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多维栅格标准样板的制备与表征（英文） 被引量：6

8

作者 雷李华 蔡潇雨 +4 位作者 魏佳斯 孟凡娇 傅云霞 张馨尹 李源 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第5期42-48,共7页

栅格标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保障。为了实现微纳米尺寸栅格结构有效区域的快速循迹与校准,文中设计了一种便于快速定位有效区域并栅格结构正交扫描方向的循迹结构。为了实现不同精... 栅格标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保障。为了实现微纳米尺寸栅格结构有效区域的快速循迹与校准,文中设计了一种便于快速定位有效区域并栅格结构正交扫描方向的循迹结构。为了实现不同精度、尺寸范围的校准需求,在同一基板上实现了多维、多参数的横向栅格标准样板的结构设计与集成。使用计量型纳米测量机(NMM)对微纳米栅格标准样板测量误差进行了分析与评价,以实现标准样板的溯源性表征。实验结果表明,栅格标准样板具有良好的均匀性、准确性以及稳定性,验证了研制的栅格标准样板能作为一种理想的实物标准运用于纳米几何量量值溯源体系。 展开更多

关键词 栅格标准样板 微纳米 快速循迹 量值溯源

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球棒球心距测量装置及装校方法 被引量：3

9

作者 刘芳芳 傅云霞 +2 位作者 马建敏 任瑜 雷李华 《中国测试》 CAS 北大核心 2018年第9期86-89,共4页

激光干涉仪直接测量球棒球心距是目前国际上球棒标准器量值溯源的一种新颖且有效的方法,根据该原理构建球棒球心距测量装置。通过激光干涉仪校准、导轨滑动平台直线度调节以及球座和角锥反射镜座装校等方法,来降低几项主要误差来源,并... 激光干涉仪直接测量球棒球心距是目前国际上球棒标准器量值溯源的一种新颖且有效的方法,根据该原理构建球棒球心距测量装置。通过激光干涉仪校准、导轨滑动平台直线度调节以及球座和角锥反射镜座装校等方法,来降低几项主要误差来源,并进行实验及不确定度分析。当测量球心距为300 mm的标准球棒时,装置的扩展不确定度可达0.5μm。通过与德国DAkks校准证书中采用的三坐标测量机法进行比对,En值为0.41,验证不确定度评定的合理性。实验结果表明:该装置的构建为我国高精度球棒的量值溯源提供新的校准方案,具有良好实用性。 展开更多

关键词 计量学 球棒 球心距 干涉测量 光学装校

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混响室法测量吸声系数的不确定度评价 被引量：5

10

作者 钱中昌 傅云霞 +2 位作者 余培英 邓峥 陈文王 《计量学报》 CSCD 北大核心 2016年第4期411-414,共4页

通过对材料吸声系数混响室法测量分析,确定了该类方法测量结果不确定度的来源。对不确定度构成分量进一步分析,结果表明吸声系数的测量不确定度主要由混响时间测量的不确定度所决定,混响室体积、试件尺寸和声速测量的不确定度对吸声系... 通过对材料吸声系数混响室法测量分析,确定了该类方法测量结果不确定度的来源。对不确定度构成分量进一步分析,结果表明吸声系数的测量不确定度主要由混响时间测量的不确定度所决定,混响室体积、试件尺寸和声速测量的不确定度对吸声系数测量结果的不确定度贡献很小。混响时间测量结果的不确定度主要取决于混响室声场扩散程度,而测量装置本身引入的不确定度贡献较小。 展开更多

关键词 计量学 吸声系数 混响室 混响时间 不确定度

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基于变速扫描技术的大尺寸台阶测量（英文） 被引量：3

11

作者 雷李华 李源 +3 位作者 蔡潇雨 魏佳斯 傅云霞 邵力 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第7期200-207,共8页

为了提高大尺寸台阶结构的单边测量精度、缩短测量时间,基于变速扫描技术,并利用傅里叶变换提取法及单边台阶评价算法进行扫描干涉信号的处理,提出并搭建了具有变速扫描功能的白光干涉测量系统。并且利用该系统对标称值为9.976±0.... 为了提高大尺寸台阶结构的单边测量精度、缩短测量时间,基于变速扫描技术,并利用傅里叶变换提取法及单边台阶评价算法进行扫描干涉信号的处理,提出并搭建了具有变速扫描功能的白光干涉测量系统。并且利用该系统对标称值为9.976±0.028μm的台阶标准样板进行了测量,10次重复性测量结果为9.971μm,标准偏差量为0.007μm,测量时间仅为35 s,远小于常规扫描方法的222 s,大大缩短了测量时间,因此说明了该系统在大尺寸台阶结构测量中,具有较高的精确性与高效性。 展开更多

关键词 白光干涉 变速扫描 台阶标准样板

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基于混合优化算法的纳米薄膜参数表征 被引量：2

12

作者 雷李华 张馨尹 +6 位作者 吴俊杰 李智玮 李强 刘娜 谢张宁 管钰晴 傅云霞 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第2期223-228,共6页

为了在椭圆偏振测量过程中得到精确的纳米薄膜参数,提出了一种求解纳米薄膜参数的混合优化算法。结合人工神经网络算法反向传播和粒子群算法快速寻优的特点,建立了改进粒子群-神经网络(Improved Particle Swarm Optimization-Neural Net... 为了在椭圆偏振测量过程中得到精确的纳米薄膜参数,提出了一种求解纳米薄膜参数的混合优化算法。结合人工神经网络算法反向传播和粒子群算法快速寻优的特点,建立了改进粒子群-神经网络(Improved Particle Swarm Optimization-Neural Network,IPSO-NN)混合优化算法。该算法在较少的迭代次数下具有快速跳出局部最优解的能力,从而快速寻找椭偏方程最优解。文中使用该算法对标称值为(26.7±0.4)nm的硅上二氧化硅纳米薄膜厚度标准样片进行薄膜参数计算。结果表明:采用IPSO-NN混合优化算法计算薄膜厚度时相对误差小于2%,折射率误差小于0.1。同时,文中通过实验对比了传统粒子群算法与IPSO-NN算法,验证了IPSO-NN算法计算薄膜参数时能有效优化迭代次数和寻找最优解的过程,实现快速收敛,提高计算效率。 展开更多

关键词 椭圆偏振测量 纳米薄膜参数 数据处理 混合优化算法

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双波长激光量块干涉仪研制 被引量：3

13

作者 蒋秀兰 祝逸庆 +5 位作者 马建敏 傅云霞 蔡明钢 葛爱明 王青 陈磊 《上海计量测试》 2001年第5期10-12,共3页

本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理 ,详细描述了仪器的光学、机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术。该干涉仪满足 1等量块的测量不确定度要求 。

关键词 量块 干涉图象处理 小数重合法测量原理 自动化测量 双波长激光量块干涉仪

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白光干涉三维形貌快速测量算法 被引量：3

14

作者 雷李华 李强 傅云霞 《航空科学技术》 2021年第3期62-70,共9页

针对航空科学技术产业中超精密加工对微纳米尺度的测试要求,本文提出一种白光干涉三维形貌快速测量算法。该算法通过将移相扫描精相位与垂直扫描粗相位融合,得到待测样品的三维形貌测量结果,并采用二维离散差分算法判断并消除待测样品... 针对航空科学技术产业中超精密加工对微纳米尺度的测试要求,本文提出一种白光干涉三维形貌快速测量算法。该算法通过将移相扫描精相位与垂直扫描粗相位融合,得到待测样品的三维形貌测量结果,并采用二维离散差分算法判断并消除待测样品在阶跃形貌的边缘处产生的蝙蝠翼误差,得到高精度的三维形貌测量结果,试验证明该算法纵向分辨率可达亚纳米精度。 展开更多

关键词 白光干涉 三维形貌 相位融合 垂直扫描

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基于图像处理技术的试验筛自动测量系统 被引量：2

15

作者 唐冬梅 石红 +2 位作者 傅云霞 姜志华 曾燕华 《上海计量测试》 2016年第1期17-19,共3页

介绍了试验筛自动测量系统的硬件构成及软件系统,对试验筛自动测量系统中应用的图像处理技术进行了研究,分析了该系统对校准结果的不确定度。研究成果替代人眼观测方法,实现了试验筛的自动化测量。同时提升了效率,降低了劳动强度。

关键词 试验筛 图像处理技术 自动测量

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双波长激光量块干涉仪减小量块中心长度测量不确定度的措施 被引量：1

16

作者 蒋秀兰 祝逸庆 +5 位作者 马建敏 傅云霞 蔡明钢 葛爱明 王青 陈磊 《上海计量测试》 2010年第6期27-29,共3页

该文总结了双波长激光干涉仪研制过程中减小量块中心长度测量不确定度的几项重要措施,该干涉仪对量块中心长度的测量不确定度达到(0.02±0.2L)μm,并已成功应用于高等级量块的自动测量。

关键词 量块 激光干涉仪 测量不确定度

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高精度测量中环境参数水蒸气压的测量方法

17

作者 葛爱明 魏敏晨 +1 位作者 蒋秀兰 傅云霞 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第S1期287-291,共5页

高精度测量几何量,如角度、长度等的测量结果都是标准环境参数条件下的值,其中的水蒸气压(湿度)要求是1.333KPa,以前采用干球温度计和湿球温度计的差值来对室内水蒸气压的测量,这种测量需要通过查表的方式,而且不能实现连续的自动测量,... 高精度测量几何量,如角度、长度等的测量结果都是标准环境参数条件下的值,其中的水蒸气压(湿度)要求是1.333KPa,以前采用干球温度计和湿球温度计的差值来对室内水蒸气压的测量,这种测量需要通过查表的方式,而且不能实现连续的自动测量,文中通过建立了一种数学模型,提出了高精度测量中环境参数之一水蒸气压的自动连续的测量方法,为高精度测量提供了可靠快速的保证。 展开更多

关键词 水蒸气压 湿度传感器 高精度测量

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激光准直测量系统的校准方法 被引量：1

18

作者 张丰 曾燕华 傅云霞 《上海计量测试》 2013年第3期24-26,共3页

介绍一种针对激光准直测量系统的校准方法。在50 m超长平台的基础上,设计一套校准装置,其中包括二维校准台、剪式升降台、接收靶夹具等。通过对接收靶示值误差的测量,实现激光准直测量系统的校准。通过实验比对,证实方法的有效性。

关键词 激光准直 接收靶 二维校准台

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光切式标准伤痕深度检测装置的研制

19

作者 刘芳芳 傅云霞 曾燕华 《科技通报》 北大核心 2015年第1期138-141,共4页

目的:高精度无损探伤仪器需要通过标准伤痕试块实现量值溯源,由于缺乏专门的仪器,深窄槽形伤痕的深度测量是一大难点。为了解决这一难点,基于光切原理,研制了一台非接触式的标准伤痕深度检测装置。方法:将光切图像用于瞄准,采用两次调... 目的:高精度无损探伤仪器需要通过标准伤痕试块实现量值溯源,由于缺乏专门的仪器,深窄槽形伤痕的深度测量是一大难点。为了解决这一难点,基于光切原理,研制了一台非接触式的标准伤痕深度检测装置。方法:将光切图像用于瞄准,采用两次调焦及两次瞄准的方法测量槽深,同时通过自编软件可实现光带与基准线之间瞄准的自动判断。利用高精度长度计作为深度测量标准器,通过机械设计和装校使深度测量符合阿贝原则,提高测量精度。结果:装置的深度测量范围可达10 mm,测量不确定度可达U=1.5μm(k=2)。结论:该装置的研制有效解决了高精度无损伤痕探测仪的量值溯源问题。经过适当地改进还可拓展到大型零部件的表面伤痕检测,填补大型零部件伤痕现场定量标定的空白。 展开更多

关键词 标准伤痕测量 光切原理 两次调焦 非接触测量

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量块标准装置更新改造方案

20

作者 蒋秀兰 祝逸庆 +3 位作者 蔡明钢 傅云霞 马建敏 刘钢 《上海计量测试》 2000年第3期28-30,共3页

本文论述了包括柯氏干涉仪和接触式干涉仪在内的量块标准装置更新改造的必要性 ;国内外量块检定现状和仪器 ;研究改造内容和技术方案 ;改造后达到的技术指标和技术水平 ;并分析了量块标准装置更新改造后可能产生的社会效益和经济效益。

关键词 量块 标准装置 检定 检定仪器 技术改造

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