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双频激光干涉仪在机床检定中的应用 被引量:8
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作者 羡一民 俞成栋 +2 位作者 于光华 于东升 曹益平 《制造技术与机床》 CSCD 1995年第5期8-11,共4页
介绍了双频激光干涉仪在机床检定中检定数控机床位置精度,检定直线度、垂直度和平面度的方法,还介绍了影响测量精度的因素。
关键词 激光干涉仪 机床检定 位置精度 垂直度 平面度
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用激光检验运动中的复杂零件
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作者 俞成栋 《工具技术》 1981年第11期45-46,共2页
本文论述以激光与光源的光学扫描测量系统的工作原理,非接触式传感器可供柔软,细小,热或运动物体直径的精密测量。这类传感器可包括:电容式、涡流式和气动式。但是光学传感器在这里具有独特的优点,因为从传感器到工件的距离可以很大,反... 本文论述以激光与光源的光学扫描测量系统的工作原理,非接触式传感器可供柔软,细小,热或运动物体直径的精密测量。这类传感器可包括:电容式、涡流式和气动式。但是光学传感器在这里具有独特的优点,因为从传感器到工件的距离可以很大,反应时间仅受到光电管和电子元件的限制,而且光强的变化直接被转换成电讯号。 展开更多
关键词 光束 粒子束 准直透镜
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