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电子级磷酸的结晶精制技术发展现状与研究进展
被引量：
1
1
作者
董举
余留洋
+6 位作者
贾晟哲
史连军
王诗瀚
胡国涛
汤伟伟
王静康
龚俊波
《化工学报》
北大核心
2025年第2期438-453,共16页
电子级磷酸作为电子工业常用的一种超高纯试剂,广泛应用于大屏幕液晶显示器和超大规模集成电路等微电子工业中的湿法蚀刻和清洗。随着电子元器件加工精度的迭代更新,对电子级磷酸中杂质含量与微粒的要求也在日益提高。综述了电子级磷酸...
电子级磷酸作为电子工业常用的一种超高纯试剂,广泛应用于大屏幕液晶显示器和超大规模集成电路等微电子工业中的湿法蚀刻和清洗。随着电子元器件加工精度的迭代更新,对电子级磷酸中杂质含量与微粒的要求也在日益提高。综述了电子级磷酸深度净化的常用方法,重点阐述了结晶精制技术在电子级磷酸深度净化中的优势和应用进展,总结了结晶法在磷酸深度净化过程中的杂质包藏与迁移机制,并概述了结晶纯化的过程强化手段。最后,对电子级磷酸结晶精制技术的发展作出了前景展望。
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关键词
电子级磷酸
电子材料
结晶
纯化
过程强化
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职称材料
电子级磷酸的纯化精制技术发展现状与研究进展
被引量：
7
2
作者
余留洋
刘书博
+7 位作者
贾晟哲
马航
万邦隆
苏琦雯
王静康
汤伟伟
贺豫娟
龚俊波
《化工学报》
EI
CSCD
北大核心
2024年第1期1-19,共19页
电子级磷酸作为一种超高纯化学试剂,主要用于微电子行业中芯片的清洗与蚀刻,其纯度会显著影响电子元器件的成品率、电性能以及可靠性。然而,极低杂质(10^(-9)水平)的高端电子级磷酸,对于化工分离纯化技术的要求极高。从电子级磷酸在芯...
电子级磷酸作为一种超高纯化学试剂,主要用于微电子行业中芯片的清洗与蚀刻,其纯度会显著影响电子元器件的成品率、电性能以及可靠性。然而,极低杂质(10^(-9)水平)的高端电子级磷酸,对于化工分离纯化技术的要求极高。从电子级磷酸在芯片清洗与蚀刻方面的应用出发,梳理了电子级磷酸产品的主要国内外标准,概述了杂质离子的主要分析监测方法。重点综述了电子磷酸的制备和纯化精制方法,特别是结晶法在磷酸深度净化方面的显著优势,最后,对电子级磷酸的净化技术发展做出了前景展望。
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关键词
电子级磷酸
电子材料
纯化
结晶
技术集成
痕量杂质
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职称材料
题名
电子级磷酸的结晶精制技术发展现状与研究进展
被引量：
1
1
作者
董举
余留洋
贾晟哲
史连军
王诗瀚
胡国涛
汤伟伟
王静康
龚俊波
机构
天津大学化工学院
中低品位磷矿及其共伴生资源高效利用国家重点实验室
瓮福(集团)有限责任公司
出处
《化工学报》
北大核心
2025年第2期438-453,共16页
基金
中低品位磷矿及其共伴生资源高效利用国家重点实验室开放课题基金项目(2015DQ820763)。
文摘
电子级磷酸作为电子工业常用的一种超高纯试剂,广泛应用于大屏幕液晶显示器和超大规模集成电路等微电子工业中的湿法蚀刻和清洗。随着电子元器件加工精度的迭代更新,对电子级磷酸中杂质含量与微粒的要求也在日益提高。综述了电子级磷酸深度净化的常用方法,重点阐述了结晶精制技术在电子级磷酸深度净化中的优势和应用进展,总结了结晶法在磷酸深度净化过程中的杂质包藏与迁移机制,并概述了结晶纯化的过程强化手段。最后,对电子级磷酸结晶精制技术的发展作出了前景展望。
关键词
电子级磷酸
电子材料
结晶
纯化
过程强化
Keywords
electronic grade phosphoric acid
electronic material
crystallization
purification
process intensification
分类号
TQ026.5 [化学工程]
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职称材料
题名
电子级磷酸的纯化精制技术发展现状与研究进展
被引量：
7
2
作者
余留洋
刘书博
贾晟哲
马航
万邦隆
苏琦雯
王静康
汤伟伟
贺豫娟
龚俊波
机构
天津大学化工学院
云南云天化股份有限公司研发中心
出处
《化工学报》
EI
CSCD
北大核心
2024年第1期1-19,共19页
基金
国家自然科学基金面上项目(22278300)
国家自然科学基金重点项目(21938009)。
文摘
电子级磷酸作为一种超高纯化学试剂,主要用于微电子行业中芯片的清洗与蚀刻,其纯度会显著影响电子元器件的成品率、电性能以及可靠性。然而,极低杂质(10^(-9)水平)的高端电子级磷酸,对于化工分离纯化技术的要求极高。从电子级磷酸在芯片清洗与蚀刻方面的应用出发,梳理了电子级磷酸产品的主要国内外标准,概述了杂质离子的主要分析监测方法。重点综述了电子磷酸的制备和纯化精制方法,特别是结晶法在磷酸深度净化方面的显著优势,最后,对电子级磷酸的净化技术发展做出了前景展望。
关键词
电子级磷酸
电子材料
纯化
结晶
技术集成
痕量杂质
Keywords
electronic grade phosphoric acid
electronic materials
purification
crystallization
technology integration
trace impurity
分类号
TQ026.5 [化学工程]
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1
电子级磷酸的结晶精制技术发展现状与研究进展
董举
余留洋
贾晟哲
史连军
王诗瀚
胡国涛
汤伟伟
王静康
龚俊波
《化工学报》
北大核心
2025
1
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职称材料
2
电子级磷酸的纯化精制技术发展现状与研究进展
余留洋
刘书博
贾晟哲
马航
万邦隆
苏琦雯
王静康
汤伟伟
贺豫娟
龚俊波
《化工学报》
EI
CSCD
北大核心
2024
7
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