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液相基底上铝薄膜的开裂与折叠行为研究 被引量:1
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作者 余森江 周曼 +2 位作者 维顺 洪阳 陈苗根 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期25-29,共5页
利用真空蒸发方法在液相基底(硅油)上成功制备出具有自由支撑边界和界面条件的金属铝薄膜系统,研究了薄膜的开裂和折叠行为。结果表明:沉积过程中,硅油基底的受热膨胀使铝薄膜处于较大张应力状态,伴随着张应力的释放,薄膜中出现开裂形... 利用真空蒸发方法在液相基底(硅油)上成功制备出具有自由支撑边界和界面条件的金属铝薄膜系统,研究了薄膜的开裂和折叠行为。结果表明:沉积过程中,硅油基底的受热膨胀使铝薄膜处于较大张应力状态,伴随着张应力的释放,薄膜中出现开裂形貌。沉积完成之后,系统的逐渐冷却促使硅油基底收缩,并使得铝薄膜处于较大压应力状态,伴随着压应力的释放,薄膜中出现特征的折叠形貌。基于液相基底上金属薄膜的特殊力学行为,对此类开裂和折叠形貌进行了深入阐述。 展开更多
关键词 液相基底 铝薄膜 开裂 折叠 内应力
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沉积在液体基底表面Al薄膜中具有准周期特征的带状结构 被引量:2
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作者 张永炬 余森江 +3 位作者 蔡萍根 叶全林 金进生 叶高翔 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期324-328,共5页
研究了沉积在硅油表面Al薄膜的特征表面形貌 (一类具有准周期特征的带状结构 )及其形成过程。实验发现 :沉积结束后 ,随着Al薄膜样品在真空室中放置时间Δt的增加 ,Al薄膜中首先出现带状且不均匀的物质自发凝聚现象 ,随后逐渐演变成由... 研究了沉积在硅油表面Al薄膜的特征表面形貌 (一类具有准周期特征的带状结构 )及其形成过程。实验发现 :沉积结束后 ,随着Al薄膜样品在真空室中放置时间Δt的增加 ,Al薄膜中首先出现带状且不均匀的物质自发凝聚现象 ,随后逐渐演变成由一系列畴块有序排列而成的准周期带状结构。带状结构中畴块 (一般为长方形 )的大小不均 ,其宽度分布的最可几值约在 5 μm~ 2 0 μm之间 ;在一定区域内 ,同一条带状结构的畴块长度基本一致 ,且随时间Δt的增加而增加。分析表明 :由于液体基底与薄膜之间的特征相互作用 ,使薄膜中的原子及其团簇可以较自由地自发凝聚和重组 ,释放薄膜中的内应力 ,从而引起此类具有准周期特征带状结构的形成。 展开更多
关键词 薄膜 液体 原子 基底 团簇 表面 凝聚 有序排列 沉积 宽度
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沉积在液体基底上银薄膜的表面形貌及内应力释放机制 被引量:1
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作者 张永炬 余森江 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期570-575,共6页
利用直流磁控溅射方法在液体(硅油)基底表面成功制备出具有自由支撑边界条件的金属银薄膜系统,研究了该薄膜的形成机理、表面形貌演化规律及内应力释放机制。实验发现银薄膜的形成过程基本可分为准圆形团簇、分枝状结构凝聚体和连续薄... 利用直流磁控溅射方法在液体(硅油)基底表面成功制备出具有自由支撑边界条件的金属银薄膜系统,研究了该薄膜的形成机理、表面形貌演化规律及内应力释放机制。实验发现银薄膜的形成过程基本可分为准圆形团簇、分枝状结构凝聚体和连续薄膜等几个阶段。沉积后,当样品暴露在大气环境中,银薄膜自身产生强烈收缩效应并促使其表面形貌不断演化,一直持续到几十小时之后薄膜系统的自由能降到最低为止。由于金属薄膜与液体基底之间的切向相互作用能几乎为零,银薄膜在收缩过程中可形成宽大的裂纹和平行的直线状(或扭曲状)褶皱花样。基于薄膜的应力理论,本文对银薄膜的开裂和起皱行为进行了详细研究。 展开更多
关键词 液体基底 银薄膜 内应力 裂纹 褶皱
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SiAlN_x薄膜的应力释放模式及力学性能研究
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作者 周红 余森江 +1 位作者 陈君 陈苗根 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期483-489,共7页
利用低辐射镀膜玻璃专用的镀膜生产线,在6 mm白玻衬底上制备出SiAlNx薄膜,研究了薄膜在退火之后的内应力释放模式及其力学性能。结果表明:退火后的SiAlNx薄膜存在较大的残余压应力,伴随着压应力的释放,薄膜中出现电话线形屈曲结构;屈曲... 利用低辐射镀膜玻璃专用的镀膜生产线,在6 mm白玻衬底上制备出SiAlNx薄膜,研究了薄膜在退火之后的内应力释放模式及其力学性能。结果表明:退火后的SiAlNx薄膜存在较大的残余压应力,伴随着压应力的释放,薄膜中出现电话线形屈曲结构;屈曲结构从薄膜边缘产生,并逐渐往样品中心区域扩展;在电话线屈曲的传播过程中,屈曲的各结构参量(包括波长、振幅、宽度等)均发生了明显演化。基于连续弹性理论,对电话线屈曲的结构特征和生长演化进行了分析,并估算了薄膜的内应力和膜基结合能。 展开更多
关键词 SiAlNx薄膜 低辐射镀膜玻璃 电话线屈曲 力学性能 内应力
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