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题名锂离子动力电池材料磷酸铁锂制备设备的研究
被引量：4
- 1
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作者
陈国红
刘秋生
何远湘
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机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2006年第10期61-64,共4页
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文摘
介绍了一种新型锂离子动力电池材料——磷酸铁锂的大规模连续式制备设备。着重阐述了该设备的关键技术、工艺原理、中试效果及发展趋势等。
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关键词
锂离子动力电池
磷酸铁锂
连续式
制备设备
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Keywords
Lithium-ion-drive batteries
Lithium iron phosphate
Continuous pattern
Preparation equipment
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分类号
TM205
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名腐蚀气氛下高温气氛保护窑加热元件的选用与分析
被引量：1
- 2
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作者
刘秋生
何远湘
黄绍明
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机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2003年第5期81-83,共3页
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文摘
加热元件的选取要遵“环境～体系”原则,综合考虑窑炉各温区温度、气氛及腐蚀介质对加热元件的影响,选出最适应各个温度区、气氛场及腐蚀介质的加热元件,以保证高温气氛窑正常运行,使加热元件有良好的使用寿命和最低的经济支出。本文对某高温气氛保护窑不同温区的加热元件的选取,并对不同温区加热元件损毁机理进行分析。
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关键词
高温
加热
腐蚀
选用
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Keywords
High temperature
Heating
Erosion and selection.
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分类号
TF806.1
[冶金工程—有色金属冶金]
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题名燃气彩偏窑的温度控制与安全保护
- 3
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作者
何远湘
廖炼斌
杨晓生
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机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2004年第6期76-78,共3页
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文摘
燃气彩偏窑是以气体燃料作为能源,通过对燃烧过程的自动控制,达到温度精确控制,满足彩偏磁芯烧结工艺要求。同时,对燃烧过程中的熄火、燃烧气体和助燃空气压力超过正常范围、排烟不畅等进行有效控制,保证安全生产。
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关键词
燃烧
天然气
窑
控制
温度
安全保护
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Keywords
Combustion
Natural
Gas
Kiln
Control
Temperature
Safety and security
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分类号
TF806.1
[冶金工程—有色金属冶金]
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题名电子束曝光机子系统光柱控制器设计
- 4
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作者
何远湘
龙会跃
梁文彬
苏鑫
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机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2024年第4期30-35,共6页
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文摘
为了提高电子束曝光机光柱控制器稳定性和控制精度,通过多年研究提出了一套功能较为完备的新型光柱控制的硬件设计方案,通过对电子束聚焦、对中、偏转、扫描曝光等参数精准控制,将图形发生器产生各项数字信号变换成对应的模拟量,稳定地控制电子束对承放在激光工作台上的掩模基片进行扫描曝光,从而达到高质量生产。
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关键词
电子束曝光机
光柱
聚焦
束闸
偏转
数模转换(DAC)转接
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Keywords
Electron beam lithography machine
Beam column
Focusing
Beam gate
Deflection
DAC conversion
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名太阳能用晶体硅片切割技术
被引量：2
- 5
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作者
蔡先武
明亮
黄美玲
李小鹏
彭海英
何远湘
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机构
湖南红太阳光电科技有限公司
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出处
《太阳能》
2018年第10期33-39,28,共8页
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文摘
介绍了太阳能用晶体硅片切割技术的发展历史,简要分析了外圆切割、内圆切割和砂浆钢线切割技术,详细阐述了当前主流的金刚线切割技术,分析其相应设备及工艺技术的现状和发展趋势,并对未来的硅片切割技术进行了展望。
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关键词
太阳能
硅片
切割技术
发展
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分类号
TM615
[电气工程—电力系统及自动化]
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题名半导体装备工程化批产脉动生产线技术应用与研究
被引量：2
- 6
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作者
谢于柳
何远湘
赵瓛
刘洪文
黄升
任哲
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机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2023年第4期11-13,共3页
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文摘
国产半导体装备在国家政策及国内市场的双重推动下迎来了新发展机遇,未来设备交货能力将成为半导体工艺设备厂商竞争的重点,为进一步提高设备出货及市场交货能力,加强企业竞争力,通过脉动生产线技术应用,使得国产半导体装备工程化批产能力建设进一步得到加强,目前该生产线年产能180台套装备,其中200 mm(8英寸)立式炉、150 mm(6英寸)SiC外延设备等半导体装备已实现研转批工程化批产生产。该技术在半导体设备制造过程中具有重要的应用价值,可以有效提高生产效率和产品质量。然而,目前该技术在实际应用中还存在一些问题,需要进一步研究和改进。希望本文的研究成果对相关领域的研究者和实践者有所启示和借鉴。
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关键词
半导体装备
工程化技术
脉动生产线技术
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Keywords
Semiconductor equipment
Engineering technology
Pulse production line technology
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名SiC外延炉模块化集成制造技术探索与研究
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作者
谢于柳
何远湘
陈庆广
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机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2023年第5期11-14,40,共5页
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文摘
SiC外延炉是半导体行业中的一项重要设备,其主要作用是在衬底上生长出高品质、大面积、无杂质的SiC外延薄膜。简要介绍了SiC外延炉模块化集成制造技术,并通过实施模块化集成制造技术方案,解决了设备生产周期长的问题,有效地降低了制造成本。
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关键词
碳化硅外延
外延炉
模块化
集成制造技术
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Keywords
Silicon carbide epitaxy
Epitaxial furnace
Modular
Integrated manufacturing technology
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分类号
TN304.054
[电子电信—物理电子学]
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