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题名具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪
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作者
龚柯安
付天坤
何晨嵩
张成悌
付宁
李华
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机构
中国测试技术研究院
成都工业学院
成都新成量工具有限公司
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出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2024年第S01期106-109,共4页
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文摘
本文利用具有F-P标准具的管状基准的等倾干涉原理,设计了两种具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪。这两种干涉仪通过气泵来增压或者减压管状基准主体内的气压,从而改变管状基准内介质折射率,进一步改变参考光和测量光的光程差,以此实现相移技术,完成对平晶平面度的测量。两种干涉仪分为立式和卧式,分别对应不同使用场景。相较于等倾干涉仪测量系统,本文设计的干涉仪系统改善了热交换的环境,测量点数增多,可给出被测平晶平面地形图;相较于利用压电陶瓷实现相移技术的菲索平面干涉仪,本文设计的干涉仪系统在测量中没有机械运动的移相,且造价更低,安全性更高。
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关键词
管状基准
斐索干涉仪
相移技术
平面度测量
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Keywords
tubular reference
fizeau interferometer
phase shift technology
flatness measurement
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
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