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超高精度面形干涉检测技术进展
被引量：
9
1
作者
侯溪
张帅
+6 位作者
胡小川
全海洋
吴高峰
贾辛
何一苇
陈强
伍凡
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期14-26,共13页
深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展,超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常要求达到纳米、深亚纳米甚至几十皮米量级,超高精度面形干涉检...
深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展,超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常要求达到纳米、深亚纳米甚至几十皮米量级,超高精度面形干涉检测技术挑战技术极限,具有重要研究意义和应用价值。本文分析了面形干涉检测技术发展趋势,主要介绍了中国科学院光电技术研究所近年来在超高精度面形干涉检测技术相关研究进展。
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关键词
先进光学制造
超精密光学
光学测量
面形检测
干涉检测
绝对检测
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职称材料
基于引力模型的淮海经济区空间格局研究
被引量：
4
2
作者
胡纯广
王仲智
+4 位作者
杨光
邢力
杨韬
何一苇
李贺
《资源与产业》
2019年第6期92-98,共7页
由苏北、皖北、豫东、鲁南4大板块组成的淮海经济区,长期处于经济发展洼地。目前,淮河生态经济带建设正式上升为国家战略,其中北部淮海经济区的建设将促进该区域经济的协同发展。文章通过引力模型,研究淮海经济区城市群的空间结构特征...
由苏北、皖北、豫东、鲁南4大板块组成的淮海经济区,长期处于经济发展洼地。目前,淮河生态经济带建设正式上升为国家战略,其中北部淮海经济区的建设将促进该区域经济的协同发展。文章通过引力模型,研究淮海经济区城市群的空间结构特征。结果表明,淮海经济区城市综合质量的变化范围为218.16~1062.58。在淮海经济区内,徐州市对其他城市的引力值最高,但是,徐州市与江苏省、山东省、河南省各城市的断裂点均值相对较大,而对安徽省各城市的断裂点均值相对较小,说明徐州市对安徽省各城市的辐射作用不强。综上得出以下结论:淮海经济区内各城市发展不均衡,徐州市在淮海经济区处于中心城市地位,但是徐州市对其他城市吸引能力有限;徐州市与其他各城市间的经济引力仍存在较大差异;区域内经济往来和交通网络还需进一步完善,不仅要充分发挥徐州市中心城市的辐射功能,还需利用临沂、淮安等次中心城市的扩散作用,促进区域经济的协调一体化发展。
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关键词
空间格局
城市协同发展
引力模型
淮海经济区
经济一体化
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职称材料
题名
超高精度面形干涉检测技术进展
被引量：
9
1
作者
侯溪
张帅
胡小川
全海洋
吴高峰
贾辛
何一苇
陈强
伍凡
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院大学
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期14-26,共13页
文摘
深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展,超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常要求达到纳米、深亚纳米甚至几十皮米量级,超高精度面形干涉检测技术挑战技术极限,具有重要研究意义和应用价值。本文分析了面形干涉检测技术发展趋势,主要介绍了中国科学院光电技术研究所近年来在超高精度面形干涉检测技术相关研究进展。
关键词
先进光学制造
超精密光学
光学测量
面形检测
干涉检测
绝对检测
Keywords
advanced optical manufacturing
ultra-precision optics
optical measurement
surface metrology
interferometry
absolute measurement
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于引力模型的淮海经济区空间格局研究
被引量：
4
2
作者
胡纯广
王仲智
杨光
邢力
杨韬
何一苇
李贺
机构
江苏师范大学地理测绘与城乡规划学院
出处
《资源与产业》
2019年第6期92-98,共7页
基金
江苏省大学生创新创业训练重点项目(201810320068Z)
江苏师范大学引进人才项目(17XLR006).
文摘
由苏北、皖北、豫东、鲁南4大板块组成的淮海经济区,长期处于经济发展洼地。目前,淮河生态经济带建设正式上升为国家战略,其中北部淮海经济区的建设将促进该区域经济的协同发展。文章通过引力模型,研究淮海经济区城市群的空间结构特征。结果表明,淮海经济区城市综合质量的变化范围为218.16~1062.58。在淮海经济区内,徐州市对其他城市的引力值最高,但是,徐州市与江苏省、山东省、河南省各城市的断裂点均值相对较大,而对安徽省各城市的断裂点均值相对较小,说明徐州市对安徽省各城市的辐射作用不强。综上得出以下结论:淮海经济区内各城市发展不均衡,徐州市在淮海经济区处于中心城市地位,但是徐州市对其他城市吸引能力有限;徐州市与其他各城市间的经济引力仍存在较大差异;区域内经济往来和交通网络还需进一步完善,不仅要充分发挥徐州市中心城市的辐射功能,还需利用临沂、淮安等次中心城市的扩散作用,促进区域经济的协调一体化发展。
关键词
空间格局
城市协同发展
引力模型
淮海经济区
经济一体化
Keywords
spatial pattern
urban co-integrated development
gravity model
Huaihai economic zone
economic integration
分类号
F127 [经济管理—世界经济]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超高精度面形干涉检测技术进展
侯溪
张帅
胡小川
全海洋
吴高峰
贾辛
何一苇
陈强
伍凡
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020
9
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于引力模型的淮海经济区空间格局研究
胡纯广
王仲智
杨光
邢力
杨韬
何一苇
李贺
《资源与产业》
2019
4
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职称材料
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