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用于地表温度探测10μm~11μm带通滤波器的研制
1
作者
付秀华
任开发
+5 位作者
王奔
潘永刚
林兆文
苏久麟
董所涛
张功
《应用光学》
CAS
北大核心
2024年第6期1138-1146,共9页
多谱段光谱成像仪搭载长波红外探测器可以提供空间高分辨率的地表温度信息,研究地表温度在全球能量平衡和气候变化中具有重要意义。本文采用10μm~11μm滤波器作为红外探测器的窗口进行地表温度探测,分别采用Ge和ZnS作为高低折射率材料,...
多谱段光谱成像仪搭载长波红外探测器可以提供空间高分辨率的地表温度信息,研究地表温度在全球能量平衡和气候变化中具有重要意义。本文采用10μm~11μm滤波器作为红外探测器的窗口进行地表温度探测,分别采用Ge和ZnS作为高低折射率材料,在Ge基板上设计一种宽截止、高透射的长波红外带通滤光膜;采用真空镀膜技术在Ge板两面分别制备长波通和短波通滤光膜以实现带通,其中Ge和ZnS薄膜分别以电子束和电阻热蒸发的方式沉积,膜厚采用晶控仪控制,通过Matlab软件建立膜厚沉积数学模型,模拟并修正多层膜的Tooling以减少厚度误差。测试结果表明:10μm~11μm波段平均透射率达到94.3%,透射区波纹幅度为1.6%;4μm~9.5μm和11.5μm~16μm波段平均透射率小于0.1%,各项耐环境测试表明滤波器满足使用要求。
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关键词
光学薄膜
长波红外
带通滤波器
厚度误差
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职称材料
题名
用于地表温度探测10μm~11μm带通滤波器的研制
1
作者
付秀华
任开发
王奔
潘永刚
林兆文
苏久麟
董所涛
张功
机构
长春理工大学光电工程学院
长春理工大学中山研究院光电工程学院
出处
《应用光学》
CAS
北大核心
2024年第6期1138-1146,共9页
基金
国家自然科学基金(11973040)
中山市社会公益科技研究项目(2022B2005)
长春市激光智造与检测装备科技创新中心长科技合项目(2014219)。
文摘
多谱段光谱成像仪搭载长波红外探测器可以提供空间高分辨率的地表温度信息,研究地表温度在全球能量平衡和气候变化中具有重要意义。本文采用10μm~11μm滤波器作为红外探测器的窗口进行地表温度探测,分别采用Ge和ZnS作为高低折射率材料,在Ge基板上设计一种宽截止、高透射的长波红外带通滤光膜;采用真空镀膜技术在Ge板两面分别制备长波通和短波通滤光膜以实现带通,其中Ge和ZnS薄膜分别以电子束和电阻热蒸发的方式沉积,膜厚采用晶控仪控制,通过Matlab软件建立膜厚沉积数学模型,模拟并修正多层膜的Tooling以减少厚度误差。测试结果表明:10μm~11μm波段平均透射率达到94.3%,透射区波纹幅度为1.6%;4μm~9.5μm和11.5μm~16μm波段平均透射率小于0.1%,各项耐环境测试表明滤波器满足使用要求。
关键词
光学薄膜
长波红外
带通滤波器
厚度误差
Keywords
optical thin films
long-wave infrared
band-pass filters
thickness errors
分类号
TN206 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于地表温度探测10μm~11μm带通滤波器的研制
付秀华
任开发
王奔
潘永刚
林兆文
苏久麟
董所涛
张功
《应用光学》
CAS
北大核心
2024
0
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