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毛细管柱气相色谱法测定氢气中的氯化氢
被引量:
3
1
作者
于晓艳
杨红燕
+4 位作者
卢菊花
赵建为
李剑南
王桃萍
任国扬
《理化检验(化学分册)》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期86-87,共2页
多晶硅生产中,干法回收氢气作为原料还原剂和载流气体,若其中氯化氢含量高,则在多晶硅生产过程的前期可能出现倒炉现象,后期可能出现磷超标现象,严重影响多晶硅的质量。因此需对回收氢气中的氯化氢进行测定。
关键词
毛细管柱气相色谱法
回收氢气
氯化氢
测定
生产过程
多晶硅
超标现象
还原剂
在线阅读
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职称材料
题名
毛细管柱气相色谱法测定氢气中的氯化氢
被引量:
3
1
作者
于晓艳
杨红燕
卢菊花
赵建为
李剑南
王桃萍
任国扬
机构
昆明冶研新材料股份有限公司
出处
《理化检验(化学分册)》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期86-87,共2页
文摘
多晶硅生产中,干法回收氢气作为原料还原剂和载流气体,若其中氯化氢含量高,则在多晶硅生产过程的前期可能出现倒炉现象,后期可能出现磷超标现象,严重影响多晶硅的质量。因此需对回收氢气中的氯化氢进行测定。
关键词
毛细管柱气相色谱法
回收氢气
氯化氢
测定
生产过程
多晶硅
超标现象
还原剂
分类号
O657.7 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
毛细管柱气相色谱法测定氢气中的氯化氢
于晓艳
杨红燕
卢菊花
赵建为
李剑南
王桃萍
任国扬
《理化检验(化学分册)》
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
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