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毛细管柱气相色谱法测定氢气中的氯化氢 被引量:3
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作者 于晓艳 杨红燕 +4 位作者 卢菊花 赵建为 李剑南 王桃萍 任国扬 《理化检验(化学分册)》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期86-87,共2页
多晶硅生产中,干法回收氢气作为原料还原剂和载流气体,若其中氯化氢含量高,则在多晶硅生产过程的前期可能出现倒炉现象,后期可能出现磷超标现象,严重影响多晶硅的质量。因此需对回收氢气中的氯化氢进行测定。
关键词 毛细管柱气相色谱法 回收氢气 氯化氢 测定 生产过程 多晶硅 超标现象 还原剂
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