-
题名薄膜压电材料压电系数测试方法研究进展
被引量：7
- 1
-
-
作者
任仲豪
周慎杰
-
机构
山东大学机械工程学院
-
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2020年第10期1-4,共4页
-
基金
山东省自然科学基金资助项目(ZR2018MA026)
山东省重点研发计划资助项目(2019JZZY010313)。
-
文摘
基于国内外研究成果,对薄膜压电系数测试方法进行了分类介绍,如基于正压电效应的垂直压力加载法、气动加载法、悬臂梁法和基于逆压电效应的激光干涉法、显微镜法,X射线衍射法,还有采用间接测量的体声波和表面声波法、复合谐振法等。基于压电系数测试研究现状,汇报了测试方法的最新研究进展。随着高通量实验的快速发展,高通量测试方法已经逐渐成为材料测试的发展方向。对于压电薄膜压电系数的高通量测量,悬臂梁法以及X射线衍射法有望实现多个试样并行测试,显著提高实验效率,可以为材料模拟计算提供数据支持,同时对模拟计算的结果提供实验验证。
-
关键词
压电薄膜
压电系数
高通量测试
-
Keywords
piezoelectric film
piezoelectric coefficient
high-throughput test
-
分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
