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线纹尺测量方法研究 被引量:2
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作者 罗玲 马轲瀛 +5 位作者 郝丹 李竞爽 李孺昕 李俊逸 肖辉 代崇敬 《中国测试》 CAS 北大核心 2022年第S01期67-72,共6页
使用传统方法对小尺寸线纹尺的校准具有速度慢、自动化程度低的缺点;对大尺寸线纹尺的校准,安装繁琐,精度不易保证。针对这些问题,提出了基于光学三坐标测量小尺寸线纹尺,基于激光干涉比长仪测量大尺寸线纹尺的方法。分别对两种测量方... 使用传统方法对小尺寸线纹尺的校准具有速度慢、自动化程度低的缺点;对大尺寸线纹尺的校准,安装繁琐,精度不易保证。针对这些问题,提出了基于光学三坐标测量小尺寸线纹尺,基于激光干涉比长仪测量大尺寸线纹尺的方法。分别对两种测量方法的测量原理、过程进行了研究,并对校准结果进行了不确定度的分析与评定,通过与国家院的数据比对对测量结果进行了验证。两种方法的结合,既保证了测量的精度、效率,又扩展了测量的范围,保证测量尺寸的完整性,对实际工作的开展具有指导意义。 展开更多
关键词 线纹尺 光学三坐标 激光干涉比长仪 不确定度 示值误差
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