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磁控溅射法制备ZrW_2O_8薄膜及其性能 被引量:2
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作者 付廷波 程晓农 +1 位作者 严学华 刘红飞 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第8期26-28,63,共4页
利用射频磁控溅射法在单晶硅片和石英基片上沉积了非晶态ZrW2O8薄膜,对不同温度下热处理的薄膜进行了XRD分析;用扫描电镜观察了薄膜的表面形貌,用阻抗分析仪和分光光度计分别研究了薄膜的介电性能和透光性能。结果表明:非晶态薄膜在740... 利用射频磁控溅射法在单晶硅片和石英基片上沉积了非晶态ZrW2O8薄膜,对不同温度下热处理的薄膜进行了XRD分析;用扫描电镜观察了薄膜的表面形貌,用阻抗分析仪和分光光度计分别研究了薄膜的介电性能和透光性能。结果表明:非晶态薄膜在740℃热处理3 min可以制得具有较好负热膨胀特性的ZrW2O8薄膜,其热膨胀系数为-2.54×10-5/℃;介电常数和介电损耗均随着频率的增加而减小;在可见光范围内薄膜的透光率达75%。 展开更多
关键词 磁控溅射 ZrW2O8薄膜 热膨胀系数 介电性能 透光率
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负热膨胀材料ZrW_2O_8及其复合材料研究进展 被引量:11
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作者 杨新波 程晓农 +1 位作者 严学华 付廷波 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期159-163,共5页
ZrW2O8是一种优良的各向同性负热膨胀材料。本文对ZrW2O8的晶体结构、负热膨胀特性和制备方法作了简要介绍,着重论述了以Cu/ZrW2O8、ZrO2/ZrW2O8和聚酰亚胺(Polyimide)/ZrW2O8为代表的ZrW2O8复合材料的研究现状。
关键词 ZRW2O8 负热膨胀 可控热膨胀 零膨胀 复合材料
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工艺参数和热处理温度对ZrW_2O_8薄膜制备的影响 被引量:2
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作者 刘红飞 程晓农 +1 位作者 张志萍 付廷波 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期42-46,共5页
采用WO3和ZrO2复合陶瓷靶材,以射频磁控溅射法在石英基片上沉积制备了ZrW2O8薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、表面粗糙轮廓仪和扫描电子显微镜(SEM),研究了不同工艺参数和不同退火温度对ZrW2O8薄膜的相组成、沉积速率和表面形貌的影响。采... 采用WO3和ZrO2复合陶瓷靶材,以射频磁控溅射法在石英基片上沉积制备了ZrW2O8薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、表面粗糙轮廓仪和扫描电子显微镜(SEM),研究了不同工艺参数和不同退火温度对ZrW2O8薄膜的相组成、沉积速率和表面形貌的影响。采用高温X射线衍射和PowderX软件研究薄膜的负热膨胀特性。实验结果表明:随着溅射功率的增加,薄膜沉积速率增加;而随着工作气压的增加,薄膜沉积速率先增加后减小;磁控溅射沉积制备的ZrW2O8薄膜为非晶态,表面平滑、致密,随着热处理温度的升高,薄膜开始结晶且膜层颗粒增大;在740℃热处理3min后得到膜层颗粒呈短棒状的三方相ZrW2O8薄膜,在1200℃密闭条件下热处理3min淬火后得到膜层颗粒呈球状的立方相ZrW2O8薄膜,且具有良好的负热膨胀特性。 展开更多
关键词 钨酸锆 薄膜 磁控溅射 负热膨胀
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ZrO_2粒径对ZrO_2/ZrW_2O_8复合材料性能的影响
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作者 程晓农 付廷波 +1 位作者 杨新波 严学华 《江苏大学学报(自然科学版)》 EI CAS 北大核心 2007年第6期487-490,共4页
分别采用Nano-ZrO2和Commercial-ZrO2制备ZrO2/ZrW2O8复合材料,并对所得复合材料的微观结构、烧结质量及其热膨胀性能进行了研究.结果表明,当ZrO2和ZrW2O8的质量比为2∶1时,ZrO2/ZrW2O8复合材料的热膨胀系数极低,接近于零.然而Commercia... 分别采用Nano-ZrO2和Commercial-ZrO2制备ZrO2/ZrW2O8复合材料,并对所得复合材料的微观结构、烧结质量及其热膨胀性能进行了研究.结果表明,当ZrO2和ZrW2O8的质量比为2∶1时,ZrO2/ZrW2O8复合材料的热膨胀系数极低,接近于零.然而Commercial-ZrO2/ZrW2O8复合材料存在致密度不高,气孔率大的缺点.Nano-ZrO2的采用,可以降低基体的烧结温度,改善复合材料的烧结质量,Nano-ZrO2/ZrW2O8复合材料的相对密度达到94%,比Commercial-ZrO2/ZrW2O8的相对密度75%有明显提高. 展开更多
关键词 复合材料 ZRW2O8 低膨胀 负热膨胀 纳米ZRO2
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