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题名磁控溅射ZnO薄膜的退火热力学行为研究
被引量：3
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作者
刘志文
付伟佳
刘明
谷建峰
马春雨
张庆瑜
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机构
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2007年第6期541-547,共7页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No10605009)~~
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文摘
本文利用原子力显微镜、透射电子显微镜、X射线衍射等分析手段研究了反应射频磁控溅射截然不同的阶段,其临界转变温度在790℃附近。进一步分析表明,决定低温退火的晶粒长大机制为Zn填隙原子扩散机制,而决定高温退火时的晶粒长大机制为O空位扩散机制。界面分析结果显示:在临界转变温度以下,ZnO薄膜与基体Si之间基本不发生界面反应;在高温退火过程中,ZnO薄膜与基体Si之间的界面反应主要以氧化后的Si表面层向ZnO扩散的方式进行,并导致了薄膜应力的迅速增加,而界面反应开始之前的薄膜应力的变化,则是由于晶粒合并所引起的。
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关键词
ZNO薄膜
退火行为
界面
扩散机制
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Keywords
ZnO film
annealing behavior
interface
diffusion mechanism
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分类号
TN304
[电子电信—物理电子学]
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题名世行新掌门罗伯特·佐利克
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作者
付伟佳
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出处
《中国信用卡》
2007年第08S期18-20,共3页
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文摘
2007年7月1日,罗伯特·佐利克继沃尔福威茨之后正式出任世行第十一任行长。现年53岁的佐利克来自美国,目前是高盛集团负责国际事务的副董事长、副总裁和高盛集团国际顾问委员会主席。他曾在几届美国政府中担任要职,包括美国副国务卿和美国贸易代表(2001～2005年),也曾担任美国财政部财政机构政策助理部长和美国国务院负责经济和农业问题的助理国务卿。
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关键词
美国政府
农业问题
财政部
董事长
委员会
国务院
国际
总裁
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分类号
F171.23
[经济管理—世界经济]
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