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CDMS-1型电视线宽测量仪设计与检测
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作者 沈蓓军 丁生华 +2 位作者 邹海兴 路敦武 杨良民 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1994年第1期89-94,共6页
本文介绍了中科院上海光机所研制的CDMS一1型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量,以及掩模制造中的质量控制,CDMS一1型电视线宽测量仪利用计算机对集成电路图像进行数字处理,从而保... 本文介绍了中科院上海光机所研制的CDMS一1型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量,以及掩模制造中的质量控制,CDMS一1型电视线宽测量仪利用计算机对集成电路图像进行数字处理,从而保证了仪器测量精度。经检测表明该系统的各项测试指标均达到原设计要求。 展开更多
关键词 线宽测量 光学计量仪器 集成电路
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受网络夹点控制的装置的改造分析 被引量:13
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作者 蒋立本 冯霄 +2 位作者 丁生华 崔雪梅 董灵 《高校化学工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期161-166,共6页
本文分析了过程夹点和网络夹点的不同,指出了在改造过程中存在网络夹点,并且节能潜力受网络夹点的控制,同时提出了克服网络夹点的途径,即分流和调整换热网络结构。通过对某炼油厂润滑油加氢补充精制装置的分析,提出了不分流时克服... 本文分析了过程夹点和网络夹点的不同,指出了在改造过程中存在网络夹点,并且节能潜力受网络夹点的控制,同时提出了克服网络夹点的途径,即分流和调整换热网络结构。通过对某炼油厂润滑油加氢补充精制装置的分析,提出了不分流时克服网络夹点的方法,即同一温位的冷流体按热溶流率CP值减小依次被加热;同一温位的热流体按CP值减小依次被冷却。最后,文章对该装置提出了采用“一改动方案”的改造方案,节能效果和经济效益显著。 展开更多
关键词 网络夹点 过程夹点 节能改造 换热网络 控制装置
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