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CDMS-1型电视线宽测量仪设计与检测
1
作者
沈蓓军
丁生华
+2 位作者
邹海兴
路敦武
杨良民
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1994年第1期89-94,共6页
本文介绍了中科院上海光机所研制的CDMS一1型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量,以及掩模制造中的质量控制,CDMS一1型电视线宽测量仪利用计算机对集成电路图像进行数字处理,从而保...
本文介绍了中科院上海光机所研制的CDMS一1型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量,以及掩模制造中的质量控制,CDMS一1型电视线宽测量仪利用计算机对集成电路图像进行数字处理,从而保证了仪器测量精度。经检测表明该系统的各项测试指标均达到原设计要求。
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关键词
线宽测量
光学计量仪器
集成电路
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职称材料
受网络夹点控制的装置的改造分析
被引量:
13
2
作者
蒋立本
冯霄
+2 位作者
丁生华
崔雪梅
董灵
《高校化学工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期161-166,共6页
本文分析了过程夹点和网络夹点的不同,指出了在改造过程中存在网络夹点,并且节能潜力受网络夹点的控制,同时提出了克服网络夹点的途径,即分流和调整换热网络结构。通过对某炼油厂润滑油加氢补充精制装置的分析,提出了不分流时克服...
本文分析了过程夹点和网络夹点的不同,指出了在改造过程中存在网络夹点,并且节能潜力受网络夹点的控制,同时提出了克服网络夹点的途径,即分流和调整换热网络结构。通过对某炼油厂润滑油加氢补充精制装置的分析,提出了不分流时克服网络夹点的方法,即同一温位的冷流体按热溶流率CP值减小依次被加热;同一温位的热流体按CP值减小依次被冷却。最后,文章对该装置提出了采用“一改动方案”的改造方案,节能效果和经济效益显著。
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关键词
网络夹点
过程夹点
节能改造
换热网络
控制装置
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职称材料
题名
CDMS-1型电视线宽测量仪设计与检测
1
作者
沈蓓军
丁生华
邹海兴
路敦武
杨良民
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1994年第1期89-94,共6页
文摘
本文介绍了中科院上海光机所研制的CDMS一1型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量,以及掩模制造中的质量控制,CDMS一1型电视线宽测量仪利用计算机对集成电路图像进行数字处理,从而保证了仪器测量精度。经检测表明该系统的各项测试指标均达到原设计要求。
关键词
线宽测量
光学计量仪器
集成电路
Keywords
Linewidth Measurement,Optical Metrology Instruments
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
受网络夹点控制的装置的改造分析
被引量:
13
2
作者
蒋立本
冯霄
丁生华
崔雪梅
董灵
机构
西安交通大学环境与化学工程学院
中国石油兰州炼化公司
出处
《高校化学工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期161-166,共6页
文摘
本文分析了过程夹点和网络夹点的不同,指出了在改造过程中存在网络夹点,并且节能潜力受网络夹点的控制,同时提出了克服网络夹点的途径,即分流和调整换热网络结构。通过对某炼油厂润滑油加氢补充精制装置的分析,提出了不分流时克服网络夹点的方法,即同一温位的冷流体按热溶流率CP值减小依次被加热;同一温位的热流体按CP值减小依次被冷却。最后,文章对该装置提出了采用“一改动方案”的改造方案,节能效果和经济效益显著。
关键词
网络夹点
过程夹点
节能改造
换热网络
控制装置
Keywords
network pinch
process pinch
energy-saving
retrofit
分类号
TQ051.5 [化学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
CDMS-1型电视线宽测量仪设计与检测
沈蓓军
丁生华
邹海兴
路敦武
杨良民
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1994
0
在线阅读
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职称材料
2
受网络夹点控制的装置的改造分析
蒋立本
冯霄
丁生华
崔雪梅
董灵
《高校化学工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
13
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职称材料
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