期刊文献+
共找到3篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
SiC外延炉加热系统的设计 被引量:5
1
作者 陈特超 林伯奇 +6 位作者 龙长林 肖慧 胡凡 程文静 丁杰钦 杨一鸣 龚杰洪 《电子工业专用设备》 2017年第1期4-7,34,共5页
碳化硅材料是一种宽禁带半导体材料,其耐高温、耐高压的特性特别适合制作大功率半导体器件。近几年来,随着SiC器件生产工艺技术的突破,碳化硅器件得到了快速的发展,其相关设备也在不断开发并走向成熟。简要介绍了SiC外延生长设备中加热... 碳化硅材料是一种宽禁带半导体材料,其耐高温、耐高压的特性特别适合制作大功率半导体器件。近几年来,随着SiC器件生产工艺技术的突破,碳化硅器件得到了快速的发展,其相关设备也在不断开发并走向成熟。简要介绍了SiC外延生长设备中加热器的设计方法、温度控制以及温度均匀性调节方法,通过实验验证了温度均匀性及控制精度。 展开更多
关键词 碳化硅 外延生长 加热器 线圈 温度曲线
在线阅读 下载PDF
影响SiC外延生长速率的相关因素探讨 被引量:1
2
作者 丁杰钦 陈特超 +3 位作者 林伯奇 龙长林 杨一鸣 龚杰洪 《电子工业专用设备》 2017年第5期14-17,共4页
研制了水平热壁式外延沉积系统,设计了双加热器温控系统和水平三层流喷淋系统,介绍了温场和流场获得方法。在偏4°的Si面4H-SiC单晶衬底上进行了工艺验证。研究了生长温度、C/Si以及SiH_4流量对SiC外延生长速率的影响,通过主要参数... 研制了水平热壁式外延沉积系统,设计了双加热器温控系统和水平三层流喷淋系统,介绍了温场和流场获得方法。在偏4°的Si面4H-SiC单晶衬底上进行了工艺验证。研究了生长温度、C/Si以及SiH_4流量对SiC外延生长速率的影响,通过主要参数的综合调整,生长出了表面光滑的SiC外延膜。 展开更多
关键词 三层流喷淋头 4H-SIC C/Si比 生长速率
在线阅读 下载PDF
The Growth and Fabrication of InGaN/GaN Multi-Quantum Well Solar Cells on Si(111) Substrates 被引量:1
3
作者 LI Zhi-Dong XIAO Hong-Ling +6 位作者 WANG Xiao-Liang WANG Cui-Mei DENG Qing-Wen JING Liang DING Jie-Qin WANG Zhan-Guo HOU Xun 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2013年第6期216-219,共4页
Metalorganic chemical vapor deposition of a crack-free mirror-like surface of InGaN/GaN MQWs on Si(111)substrate is demonstrated,and an InGaN/GaN MQWs solar cell device is fabricated.Photo response measurement of the ... Metalorganic chemical vapor deposition of a crack-free mirror-like surface of InGaN/GaN MQWs on Si(111)substrate is demonstrated,and an InGaN/GaN MQWs solar cell device is fabricated.Photo response measurement of the solar cell devices shows that the fill factor FF=49.4%,open circuit voltage V_(oc)=0.32 V,and short circuit current J_(sc)=0.07 mA/cm^(2),under AM 1.5 G illumination.In order to analyze the influence of material quality on the performance of solar cells,XRD,SEM and Raman scattering experiments are carried out.It is found that insertion of a proper top AlN layer can effectively improve the material quality,and therefore enhance the photovoltaic performance of the fabricated device. 展开更多
关键词 INGAN/GAN SI(111) SCATTERING
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部