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一种尾气吸收装置的设计
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作者 邓亦源 肖永红 曾祥斌 《中国高新科技》 2018年第23期107-109,共3页
二氧化硫尾气排放是化学气相沉积法制备硫化钼薄膜需要解决的关键问题。文章设计了一种尾气吸收装置,采用氢氧化钠溶液吸收二氧化硫尾气,实验效果显著。该方法简单易行,成本低,对尾气排放吸收效果良好。
关键词 尾气吸收 NaOH溶液 SO2 CVD MoS2薄膜
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