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中国计量科学研究院量子电压基准研究与发展综述 被引量：3
1
作者 李红晖 王曾敏 +3 位作者 徐晴 田正其 段梅梅 王磊 《计量学报》 CSCD 北大核心 2023年第10期1564-1573,共10页
对中国计量科学研究院(NIM)研究建立的约瑟夫森量子电压基标准及相关应用研究情况进行了综述。NIM自1993年研究建立了国家量子电压基准,之后进行了与国际计量局的1 V和10 V的两次现场比对,比对一致性的相对不确定度均小于1.1×10^(-... 对中国计量科学研究院(NIM)研究建立的约瑟夫森量子电压基标准及相关应用研究情况进行了综述。NIM自1993年研究建立了国家量子电压基准,之后进行了与国际计量局的1 V和10 V的两次现场比对,比对一致性的相对不确定度均小于1.1×10^(-10)。重点描述了NIM建立可编程量子电压基准(PJVS)的研究工作,以及以此为基础合成交流量子电压和交流标准源量值传递的进展情况,并介绍了对PJVS进行的一些创新和应用拓展的工作。 展开更多
关键词 计量学 量子电压标准 电压精密测量 约瑟夫森效应
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科研仪器设备采购管理信息系统研究与开发——以中国计量科学研究院为例 被引量：3
2
作者 陈平 杨智君 +3 位作者 杨东 杨帆 苏爽 任孝平 《中国科技资源导刊》 2019年第2期9-14,27,共7页
提高科研仪器设备采购效率,是落实国家“放管服”政策,实施精细化科研管理工作的重点。文章在介绍了中国计量科学研究院科研仪器设备采购管理制度的建设情况的基础上,进一步对科研仪器设备采购流程进行识别和研究。使用统一建模语言对... 提高科研仪器设备采购效率,是落实国家“放管服”政策,实施精细化科研管理工作的重点。文章在介绍了中国计量科学研究院科研仪器设备采购管理制度的建设情况的基础上,进一步对科研仪器设备采购流程进行识别和研究。使用统一建模语言对所识别的过程进行信息化建模,通过工作流技术实现串行、并行和反馈活动。通过分析学院实现效果,可以看出,研发的科研设备采购信息管理系统,保证了科研仪器设备采购的全程公开、透明、可追溯,保障采购过程质量,缩短采购周期,提高采购效率。 展开更多
关键词 科研仪器设备 采购管理 采购制度 采购周期 信息系统
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国家重点研发计划课题绩效评价信息化研究——以中国计量科学研究院为例 被引量：3
3
作者 卜天佳 卢祝华 +4 位作者 李大博 陈军 张欣 周冰 李辰 《中国科技资源导刊》 2023年第1期18-24,34,共8页
国家重点研发计划项目下设课题实施期满后,面临着任务完成情况和经费管理使用情况两方面的绩效评价。项目牵头单位作为责任主体,落实责任、规范流程、细化要求,科学高效地组织做好课题绩效评价工作,是一项重要而紧迫的任务。以中国计量... 国家重点研发计划项目下设课题实施期满后,面临着任务完成情况和经费管理使用情况两方面的绩效评价。项目牵头单位作为责任主体,落实责任、规范流程、细化要求,科学高效地组织做好课题绩效评价工作,是一项重要而紧迫的任务。以中国计量科学研究院为例,介绍其在规范国家重点研发计划项目(课题)绩效评价管理、加强课题绩效评价信息化建设等方面的实践经验和工作成效,对今后更好地推动绩效评价工作开展提出建议。 展开更多
关键词 国家重点研发计划 课题绩效评价 信息化系统 科研管理 在线评审
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科研成果管理数字化转型实践与探索——以中国计量科学研究院为例 被引量：4
4
作者 杨东 荣婕 +4 位作者 杨帆 苏爽 杨智君 陈平 王思思 《中国科技资源导刊》 2021年第1期33-40,共8页
科研成果管理是科研管理工作的重要环节,对科研工作的部署、科研计划的决策等科研管理活动具有反馈作用。在创新驱动发展的国家战略引导下,我国在科研领域持续增加投入力度,涌现了大量的科研成果,科研成果管理成为一项重要的研究课题。... 科研成果管理是科研管理工作的重要环节,对科研工作的部署、科研计划的决策等科研管理活动具有反馈作用。在创新驱动发展的国家战略引导下,我国在科研领域持续增加投入力度,涌现了大量的科研成果,科研成果管理成为一项重要的研究课题。利用信息化手段管理大量科研成果,可以提升管理效率,在新的成果管理模式下,将更易体现成果管理的价值。本文以中国计量科学研究院为例,探索成果管理的价值以及管理方式,浅析成果管理信息化的优势,通过科研成果管理信息化系统的运行与应用,简化工作流程,提升科研成果的管理水平。 展开更多
关键词 科研成果 成果管理 信息化 成果数据 数据关联
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标准钢卷尺计量比对关键技术研究
5
作者 蒋远林 康瑶 +1 位作者 李连福 李建双 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期372-378,共7页
标准钢卷尺是线纹计量器具检定系统中的三等线纹标准,用于我国大量钢卷尺等带状工作线纹尺的量值传递。为了保障我国标准钢卷尺的量值一致性,并科学评估我国计量机构标准钢卷尺的测量校准能力(CMC),中国计量科学研究院主导组织了首次全... 标准钢卷尺是线纹计量器具检定系统中的三等线纹标准,用于我国大量钢卷尺等带状工作线纹尺的量值传递。为了保障我国标准钢卷尺的量值一致性,并科学评估我国计量机构标准钢卷尺的测量校准能力(CMC),中国计量科学研究院主导组织了首次全国标准钢卷尺计量比对(项目编号2019-B-05)。介绍了比对的基本情况、方案及比对结果,分析了比对结果及参比装置,研究了标准钢卷尺校准中关键技术问题及主要误差来源,提出了解决问题的方法,以推动标准钢卷尺量值校准能力的提升。 展开更多
关键词 几何量计量 标准钢卷尺 计量比对 测量校准能力 阿贝误差 尺带性能
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电磁计量学研究进展评述 被引量：22
6
作者 贺青 邵海明 梁成斌 《计量学报》 CSCD 北大核心 2021年第11期1543-1552,共10页
2019年5月20日,国际单位制(SI)实现了7个基本单位均以基本物理常数为基准,计量体系迎来"计量单位量子化"和"量值传递扁平化"重大变革。电磁计量在计量学领域中占据极为重要的地位,开展电磁计量研究对保持我国量值... 2019年5月20日,国际单位制(SI)实现了7个基本单位均以基本物理常数为基准,计量体系迎来"计量单位量子化"和"量值传递扁平化"重大变革。电磁计量在计量学领域中占据极为重要的地位,开展电磁计量研究对保持我国量值传递先进性、促进计量学新发展具有重要意义。介绍了电磁计量的基本特性,综述了其在量子标准及芯片、能量天平、交流电量计量、交流阻抗及比率计量、高压计量、磁参量计量等方面的国内外发展现状,对电磁计量科学技术的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 计量学 电磁量 量子标准 能量天平 交流电量 交流阻抗 高压计量
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基于元数据的计量科学数据汇交系统研究 被引量：8
7
作者 陶毅 苏爽 +7 位作者 赵正宜 田锋 韩德隆 杨一凡 张加涛 王亭亭 刘宇东 卢祝华 《中国科技资源导刊》 2022年第2期1-12,92,共13页
随着大科学装置的不断建设以及大数据、人工智能等新一代信息技术的快速发展,科学研究正在步入大数据时代,生命、天文、生态等各领域陆续建立科学数据中心,科学数据已成为支撑科技创新的重要资源。本文分析国内外科学数据管理情况,明确... 随着大科学装置的不断建设以及大数据、人工智能等新一代信息技术的快速发展,科学研究正在步入大数据时代,生命、天文、生态等各领域陆续建立科学数据中心,科学数据已成为支撑科技创新的重要资源。本文分析国内外科学数据管理情况,明确计量领域科学数据特点,基于元数据理念建立分层架构的计量科学数据汇交系统,并在标准化、技术、数据共享生态、数据市场化配置等4个方面提出发展建议,为计量领域科学数据汇交、管理水平的提升提供新的思考。 展开更多
关键词 科学数据 数据汇交 计量 元数据 数据共享
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基于计量测试技术的气流组织与机房空调节能运行研究
8
作者 张伟 张仕杰 +3 位作者 沈庆飞 马平 李安香 孙天宝 《暖通空调》 2024年第4期42-46,共5页
为量化气流组织对机房空调节能的影响,以某数据中心作为测试对象,基于计量测试技术将抽象的气流组织参数化、指标化,通过测量数据的分析,指出了机房内气流组织存在的问题,并制定了有针对性的气流组织调优和空调节能运行策略。测试数据表... 为量化气流组织对机房空调节能的影响,以某数据中心作为测试对象,基于计量测试技术将抽象的气流组织参数化、指标化,通过测量数据的分析,指出了机房内气流组织存在的问题,并制定了有针对性的气流组织调优和空调节能运行策略。测试数据表明,在机房热环境满足国家标准要求的前提下,机房空调节能率超过28%。 展开更多
关键词 数据中心 气流组织 计量测试技术 能耗 机房空调
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新一代电感基准装置的研究与建立
9
作者 杨雁 陈妍 +3 位作者 王维 黄璐 戴冬雪 陆文俊 《计量学报》 北大核心 2025年第1期1-6,共6页
采用改进型的麦克斯韦-维恩电桥法,提出一种基于无感电阻法的电桥电阻时间常数影响量补偿方法,研制新型电感基准传递电桥,建立了我国新一代电感基准装置。基于容抗与感抗的等效替代法,提出一种将电感量值直接溯源至电容单位的新方法,缩... 采用改进型的麦克斯韦-维恩电桥法,提出一种基于无感电阻法的电桥电阻时间常数影响量补偿方法,研制新型电感基准传递电桥,建立了我国新一代电感基准装置。基于容抗与感抗的等效替代法,提出一种将电感量值直接溯源至电容单位的新方法,缩短了电感量值溯源链,并验证了麦克斯韦-维恩电桥法复现电感量值的结果。新一代电感基准装置在1 kHz频率下,可复现10 mH、100 mH电感量值,测量不确定度优于2μH/H(k=1)。新电感基准装置的建立完善了我国交流阻抗计量溯源新体系,确保全国电感量值的准确统一,并将应用于新一轮的电感国际关键比对(CCEM-K3)。 展开更多
关键词 电磁计量 电感基准 麦克斯韦-维恩电桥法 无感电阻法 等效替代法 阻抗 量值溯源
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交流电阻标准装置的研究与建立
10
作者 黄璐 杨雁 +1 位作者 王维 张江涛 《计量学报》 北大核心 2025年第1期7-13,共7页
阐述了交流电阻标准装置的组成及原理,研制了一套基于感应分压器原理的四端对交流电阻电桥,通过与溯源至我国新一代计算电容基准和量子化霍尔电阻基准的四回线型计算电阻标准的比较测量,可实现400 Hz~10 kHz频率范围内1Ω~1 MΩ的交流... 阐述了交流电阻标准装置的组成及原理,研制了一套基于感应分压器原理的四端对交流电阻电桥,通过与溯源至我国新一代计算电容基准和量子化霍尔电阻基准的四回线型计算电阻标准的比较测量,可实现400 Hz~10 kHz频率范围内1Ω~1 MΩ的交流电阻量值及时间常数的高准确溯源量传,其中交流电阻量值的相对标准测量不确定度可达0.1~6.0μΩ/Ω。 展开更多
关键词 电磁计量 交流电阻 四回线型计算电阻 频率特性 四端对定义
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高准确度电流比较仪研制及校验方法研究
11
作者 王维 刘夏 +1 位作者 黄璐 杨雁 《计量学报》 北大核心 2025年第1期112-118,共7页
介绍一种新型高准确度电流比较仪的结构及工作原理,提出了“屏蔽定向引流”线路结构。该结构可基本消除二次绕组容性泄漏误差,并可消除二次绕组各段组合使用时引入的附加误差,提高了电流比较仪的准确度。在电流比率5 A/5 A~5000 A/5 A... 介绍一种新型高准确度电流比较仪的结构及工作原理,提出了“屏蔽定向引流”线路结构。该结构可基本消除二次绕组容性泄漏误差,并可消除二次绕组各段组合使用时引入的附加误差,提高了电流比较仪的准确度。在电流比率5 A/5 A~5000 A/5 A范围内,达到的技术指标优于1×10-6。结合“屏蔽定向引流”线路结构的特点,进一步提出了多比率电流比较仪自校准方法,其校准不确定度优于2×10^(-7)。该校准方法准确度高,稳定性好,操作简单,耗时短,可有效解决过去长期困扰的互感器长途运输送检问题。 展开更多
关键词 电学计量 电流比例 电流比较仪 屏蔽定向引流 自校准方法
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10 V可编程约瑟夫森结阵特性与激励系统研究
12
作者 王曾敏 李红晖 +4 位作者 段梅梅 吴然 王思云 廖福剑 王磊 《计量学报》 北大核心 2025年第1期99-105,共7页
研究了10 V可编程约瑟夫森结阵的结构和低温超导特性,分析了10 V可编程结阵的激励算法和激励系统结构,提出了数字多用表的结阵超导特性扫描方法,与传统基于示波器的观测方法相比,大幅提升了结阵超导特性扫描和评估的准确性。实验结果表... 研究了10 V可编程约瑟夫森结阵的结构和低温超导特性,分析了10 V可编程结阵的激励算法和激励系统结构,提出了数字多用表的结阵超导特性扫描方法,与传统基于示波器的观测方法相比,大幅提升了结阵超导特性扫描和评估的准确性。实验结果表明,各子阵列的临界电流均大于4 mA,在注入微波后,各子阵列正向和负向量子电压台阶宽度均大于1.5 mA,设计和研制的10 V可编程结阵激励和超导特性扫描系统,能够较好地为10 V约瑟夫森结阵提供激励,为开展无液氦10 V量子电压系统的研究奠定了基础。 展开更多
关键词 电学计量 量子电压标准 10 V可编程约瑟夫森结阵 结阵激励系统 结阵超导特性
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从米到秒:中国计量院的微波—光学频率基标准研究
13
作者 李天初 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z2期57-62,共6页
文中介绍中国计量科学研究院(NIM)在微波.光学频率计量基标准研究的新进展:用 NIM4激光冷却-铯原子喷泉钟复现国际单位制(SI)时间单位秒(s),用飞秒(fs)光学频率梳间接复现长度单位米(m)并标定稳频激光波长实际实施米定义。NIM4铯原子喷... 文中介绍中国计量科学研究院(NIM)在微波.光学频率计量基标准研究的新进展:用 NIM4激光冷却-铯原子喷泉钟复现国际单位制(SI)时间单位秒(s),用飞秒(fs)光学频率梳间接复现长度单位米(m)并标定稳频激光波长实际实施米定义。NIM4铯原子喷泉钟的不确定度达到5E-15;fm 光梳锁定到 NIM4钟控制的氢钟后,其频率不确定度为2.2E-14。在此基础上讨论铯原子喷泉钟,稳频激光,fm 光梳的作用,意义和相互关系。最后报道2006年起 NIM 立题研制锶原子存储光钟。 展开更多
关键词 计量 频率基准 稳频激光 铯原子喷泉钟 飞秒光梳
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计量科学领域科技项目数据汇交管理研究 被引量：5
14
作者 陈军 李大博 +6 位作者 杨智君 卢祝华 卜天佳 赵天琦 陶毅 杨帆 苏爽 《中国科技资源导刊》 2021年第4期83-89,共7页
科学数据是国家重要的基础性战略资源,其收集分析和共享利用越来越受到重视。“十三五”期间,国家相继发布了多项科学数据管理办法,进一步强化和明确了科学数据汇交的要求。数据汇交已被列为国家重点研发计划项目综合绩效评价的重要内... 科学数据是国家重要的基础性战略资源,其收集分析和共享利用越来越受到重视。“十三五”期间,国家相继发布了多项科学数据管理办法,进一步强化和明确了科学数据汇交的要求。数据汇交已被列为国家重点研发计划项目综合绩效评价的重要内容。本文围绕国家重点研发计划计量科研项目,从承担单位的视角探索科研项目的科学数据类型、汇交流程和信息系统设计,并对提升科学数据汇交的有效性提出建议。 展开更多
关键词 国家重点研发计划 科学数据 数据汇交内容 数据汇交流程 计量科研项目
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基于Lambert-Beer定律的吸光度监测微容量液体体积测量系统及方法研究
15
作者 常旭 王金涛 +6 位作者 刘翔 张竟月 佟林 郭立功 许常红 时文才 徐浩铭 《计量学报》 北大核心 2025年第2期198-203,共6页
为解决静力称量法对环境要求高、液体蒸发影响精度且难以实现现场检测的问题,基于Lambert-Beer定律研究了微容量液体体积测量方法。为了提高该方法的测量重复性,设计了具有吸光度监测光路的测量系统,用于监测光源波动等干扰因素并提出... 为解决静力称量法对环境要求高、液体蒸发影响精度且难以实现现场检测的问题,基于Lambert-Beer定律研究了微容量液体体积测量方法。为了提高该方法的测量重复性,设计了具有吸光度监测光路的测量系统,用于监测光源波动等干扰因素并提出了修正系数。设计了测量方案,并给出了相应数学解析模型,以实现微容量液体体积的计算。搭建了实际测量系统并进行实验,液体混匀实验验证了所设计的测量系统可有效提高测量效率,针对100μL微容量液体体积检定点开展的测量实验,验证了吸光度监测光路可以把重复性从2.02%提高至0.76%,最终测量结果符合JJG 646—2006的要求,验证了测量系统的有效性。 展开更多
关键词 容量计量 微容量液体体积 Lambert-Beer定律 吸光度监测
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X射线超导转变边沿传感器超导薄膜研究
16
作者 贾娥 李万 +8 位作者 胡家昊 白海军 陈建 徐骁龙 郭思明 孙天宝 赵晓波 李劲劲 王雪深 《计量学报》 北大核心 2025年第1期69-74,共6页
采用超高真空直流磁控溅射技术,分别制备了超导Mo薄膜和Mo/Au双层薄膜,研究了不同的溅射功率和溅射气压下薄膜的应力、粗糙度和超导转变温度的变化,实现了应力范围为-421~163 Mpa、粗糙度<1 nm、超导转变温度为1.06~1.10 K的Mo薄膜制... 采用超高真空直流磁控溅射技术,分别制备了超导Mo薄膜和Mo/Au双层薄膜,研究了不同的溅射功率和溅射气压下薄膜的应力、粗糙度和超导转变温度的变化,实现了应力范围为-421~163 Mpa、粗糙度<1 nm、超导转变温度为1.06~1.10 K的Mo薄膜制备,并以此为基础制备了应力范围在-38 MPa至26 MPa之间,超导转变温度为80~350 mK的Mo/Au薄膜,为研制单能X射线超导转变边沿传感器(TES)提供了技术储备。 展开更多
关键词 电学计量 超导转变边沿传感器 磁控溅射 超导薄膜 Mo/Au双层薄膜 单能X射线
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MCT探测器相对光谱响应度测量及漂移修正研究
17
作者 王琪雯 赵云龙 +5 位作者 安保林 卢小丰 杨成志 王高 董伟 李仰军 《计量学报》 北大核心 2025年第2期160-166,共7页
MCT探测器作为光电探测器的关键元件,其响应度的准确测量对于保证系统的探测精度至关重要。然而,探测器响应度会随温度变化、材料老化以及环境条件的波动产生漂移,影响测量结果的可靠性。现有研究多集中于MCT探测器的波长响应特性,但对... MCT探测器作为光电探测器的关键元件,其响应度的准确测量对于保证系统的探测精度至关重要。然而,探测器响应度会随温度变化、材料老化以及环境条件的波动产生漂移,影响测量结果的可靠性。现有研究多集中于MCT探测器的波长响应特性,但对漂移问题的研究较为薄弱。以热释电探测器为标准探测器,搭建了光电探测器相对光谱响应度测量系统,测量了MCT探测器3.5~5μm的相对光谱响应度,并与已有结果进行对比。实验通过重复切换热释电探测器和MCT探测器,测量了热释电探测器信号的重复性。研究了相对光谱响应度测量典型时间段内MCT探测器随时间的漂移特性,提出了以序列交叉测量方法和线性修正系数来修正准线性漂移影响,将MCT探测器的相对光谱响应度测量结果的相对标准偏差由0.74%降低到了0.38%;利用线性修正系数进行修正更适用于快速的MCT探测器相对光谱响应度的测量。 展开更多
关键词 光学计量 相对光谱响应度 MCT探测器 漂移特性 热释电探测器
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异地光频梳校准方法实验研究
18
作者 席文飞 孟飞 +8 位作者 林百科 苏亚北 薛潇博 赵耀 高业胜 曹士英 林弋戈 郎利影 方占军 《计量学报》 北大核心 2025年第2期259-266,共8页
为实现异地校准光频梳,提出了利用1台稳频激光器作为传递标准器的校准方法并进行了实验研究。实验首先利用中国计量科学研究院的标准光频梳,标定了传递激光器的频率均值为194369489387885 Hz,相对扩展不确定度为1.03×10^(-13)(k=2)... 为实现异地校准光频梳,提出了利用1台稳频激光器作为传递标准器的校准方法并进行了实验研究。实验首先利用中国计量科学研究院的标准光频梳,标定了传递激光器的频率均值为194369489387885 Hz,相对扩展不确定度为1.03×10^(-13)(k=2),平均秒级稳定度为1.7×10^(-13)。该实验持续一年半时间,并经过数次长途搬运。在此基础上,实验通过传递激光器分别对2台异地光频梳进行了校准,其中使用参考到氢钟的光频梳测量均值为194369489387827 Hz,相对扩展不确定度为3.2×10^(-13)(k=2),校准值为+58 Hz,平均秒级稳定度为2.0×10^(-13);使用参考至铷钟的光频梳测量均值为194369489388579 Hz,相对扩展不确定度为5.8×10^(-11)(k=2),校准值为-694 Hz,平均秒级稳定度为4.5×10^(-12)。此研究为参考到微波频率标准上的光频梳远程校准提供了新的途径。 展开更多
关键词 计量学 绝对频率测量 光频梳 远程校准 稳频激光器 光频标
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基于镓固定点的空间红外辐射基准黑体研究
19
作者 司马瑞衡 宋健 +3 位作者 徐春媛 许鑫 郝小鹏 齐宏 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第2期1-10,共10页
长期准确的气候监测是气候研究的前提,弱自然气候年际变化趋势监测需要在全球覆盖的统一观测平台上进行长达几十年的时间序列辐射测量。然而,在复杂空间环境中保证仪器的长期稳定性和准确性是困难的,在轨测量传感器和计量校准器的漂移... 长期准确的气候监测是气候研究的前提,弱自然气候年际变化趋势监测需要在全球覆盖的统一观测平台上进行长达几十年的时间序列辐射测量。然而,在复杂空间环境中保证仪器的长期稳定性和准确性是困难的,在轨测量传感器和计量校准器的漂移将导致卫星观测发生变化。展示了新一代的镓固定点空间红外辐射基准黑体,将国际温标定义温度基准原器“相变固定点”引入空间应用,通过复现包裹辐射界面的镓基材料在相变过程中稳定熔融温度曲线实现对温度的空间溯源,并将其传递到红外载荷,建立由国际温标(ITS-90)到空间红外辐射参考源辐亮度温度的量值传递链。黑体腔采用60 mm的光阑口径、230 mm的腔深以及32°的腔内锥角结构,相变过程中的辐射面温度均匀性优于15 mK。通过基于比对法和控制环境辐射的反射比法进行的光学试验,获得了在5~16μm波段内均值为302.907 K的辐亮度温度及0.9993发射率测试结果。此外,长达四年的重复相变试验证实了其长期复现性可达到0.003 K以内。根据不确定度评估方法,合成标准不确定度(k=1)优于0.024 K。该工作可有效应用于空间红外辐射温度溯源,并有望成为未来空间红外观测的基准仪器。 展开更多
关键词 红外遥感 辐射定标 黑体 镓固定点 亮度温度
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基于可溯源光栅的高精度位移测量系统研究及不确定度分析
20
作者 高启元 施玉书 +3 位作者 张树 史舟淼 王康 胡佳成 《计量学报》 北大核心 2025年第2期151-159,共9页
通过构建以光栅栅距校准值作为栅距量值的可溯源光栅位移测量系统,实现量值从米定义到光栅位移测量系统的传递。分析了光栅与读数头之间的对位误差对栅距和干涉信号对比度的影响。并进行系统的静态稳定性实验和与激光干涉仪的位移测量... 通过构建以光栅栅距校准值作为栅距量值的可溯源光栅位移测量系统,实现量值从米定义到光栅位移测量系统的传递。分析了光栅与读数头之间的对位误差对栅距和干涉信号对比度的影响。并进行系统的静态稳定性实验和与激光干涉仪的位移测量一致性实验,实验结果表明:可溯源光栅位移测量系统的短期稳定性为3.35 nm,长期稳定性优于70 nm;系统与激光干涉仪对不同行程位移的测量结果具有较好的一致性,在10μm和500μm位移范围内的各测量点处,测量平均值误差的绝对值分别不超过0.07%和0.013%。最后分析系统测量不确度的主要来源,并评定系统对10μm位移测量的不确定度,结果显示相对扩展不确定度为0.83%(k=2)。 展开更多
关键词 几何量计量 可溯源光栅 光栅位移测量系统 对位误差 激光干涉仪 不确定度
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