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面向下一代GaN功率技术的超薄势垒AlGaN/GaN异质结功率器件
被引量:
1
1
作者
黄森
张寒
+4 位作者
郭富强
王鑫华
蒋其梦
魏珂
刘新宇
《电子与封装》
2023年第1期11-21,共11页
AlGaN/GaN异质结型功率电子器件具有高工作温度、高击穿电压、高电子迁移率等优点,在推动下一代功率器件小型化、智能化等方面具有很大的材料和系统优势。从5种实现增强型GaN基功率电子器件的方法入手,重点介绍了采用超薄势垒AlGaN(小于...
AlGaN/GaN异质结型功率电子器件具有高工作温度、高击穿电压、高电子迁移率等优点,在推动下一代功率器件小型化、智能化等方面具有很大的材料和系统优势。从5种实现增强型GaN基功率电子器件的方法入手,重点介绍了采用超薄势垒AlGaN(小于6 nm)/GaN异质结实现无需刻蚀AlGaN势垒层的GaN基增强型器件的物理机理和实现方法。同时介绍了在超薄势垒AlGaN/GaN异质结构上实现增强型/耗尽型绝缘栅高电子迁移率晶体管单片集成的研究进展,进一步论证了在大尺寸Si基AlGaN/GaN超薄势垒平台上同片集成射频功率放大器、整流二极管、功率三极管等器件的可行性,为Si基GaN射频器件、功率器件、驱动和控制电路的单片集成奠定了技术基础。
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关键词
氮化镓
功率电子器件
ALGAN/GAN异质结
超薄势垒
增强型
功率集成
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职称材料
题名
面向下一代GaN功率技术的超薄势垒AlGaN/GaN异质结功率器件
被引量:
1
1
作者
黄森
张寒
郭富强
王鑫华
蒋其梦
魏珂
刘新宇
机构
中国科学院微电子研究所高频高压器件与集成研发中心
中国科学院大学集成电路学院
出处
《电子与封装》
2023年第1期11-21,共11页
基金
中国科学院前沿科学重点研究项目(QYZDB-SSW-JSC012)
国家自然科学基金项目(62074161,6221101004,62004213,U20A20208)
+1 种基金
国家重点研发计划(2018YFE0125700)
北京市科技计划国际科技合作项目(Z201100008420009,Z211100007921018)。
文摘
AlGaN/GaN异质结型功率电子器件具有高工作温度、高击穿电压、高电子迁移率等优点,在推动下一代功率器件小型化、智能化等方面具有很大的材料和系统优势。从5种实现增强型GaN基功率电子器件的方法入手,重点介绍了采用超薄势垒AlGaN(小于6 nm)/GaN异质结实现无需刻蚀AlGaN势垒层的GaN基增强型器件的物理机理和实现方法。同时介绍了在超薄势垒AlGaN/GaN异质结构上实现增强型/耗尽型绝缘栅高电子迁移率晶体管单片集成的研究进展,进一步论证了在大尺寸Si基AlGaN/GaN超薄势垒平台上同片集成射频功率放大器、整流二极管、功率三极管等器件的可行性,为Si基GaN射频器件、功率器件、驱动和控制电路的单片集成奠定了技术基础。
关键词
氮化镓
功率电子器件
ALGAN/GAN异质结
超薄势垒
增强型
功率集成
Keywords
GaN
power electronic devices
AlGaN/GaN heterostructure
ultrathin-barrier
enhancement-mode
power integration
分类号
TN323.4 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
面向下一代GaN功率技术的超薄势垒AlGaN/GaN异质结功率器件
黄森
张寒
郭富强
王鑫华
蒋其梦
魏珂
刘新宇
《电子与封装》
2023
1
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