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金属氧化物半导体气敏材料的研究进展 被引量:6

Research progression of gas-sensitive materials of metal semiconductor oxides
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摘要 金属氧化物是重要的半导体材料,具有较好的气敏特性,作为气敏材料被广泛应用。本文较系统地对金属氧化物气敏材料的研究现状作了阐述,重点介绍了复合氧化物气敏材料的研究状况,并对其气敏性质进行了概述。展望了金属氧化物半导体气敏材料今后的研究重点及发展方向。 The metal oxides with good gas-sensitive properties are indispensable semiconductor materials, which have been used as gas-sensitive materials widely. The present research situations of the metal-oxide gas-sensitive materials were outlined in this paper with the stresses on the compound oxide gas-sensitive materials and their gas-sensitive characteristics. On the basis of this, the future works and development directions of metal-oxide gas-sensitive materials are looked forward to in this paper.
出处 《传感器世界》 2009年第1期6-11,20,共7页 Sensor World
基金 云南省科技厅应用基础研究项目(编号:2007E173M04Z205A) 云南省教育厅自然科学重点研究项目(编号:07Z11021) 云南大学自然科学研究项目(编号:2007JN001)
关键词 金属氧化物 复合氧化物 气敏性 气敏材料 metal oxide compound oxide gas-sensing property gas-sensing material
作者简介 赵义芬,云南大学理科学技术学院材料系硕士研究生。主要从事新型纳米金属氧化物气敏材料的研究。作者通讯 通讯地址:云南大学材料科学与工程系,邮编:650091。电话:13888916756 E—mail:zyfen0402315@163.com 赵鹤云,云南大学物理科学技术学院材料系教授,主要从事气敏传感器研究; 吴心惠,云南大学物理科学技术学院材料系教授,主要从事气敏传感器研究。
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参考文献45

二级参考文献83

共引文献120

同被引文献113

引证文献6

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