摘要
文章主要介绍了几种X射线散射技术,包括X射线小角反射技术、X射线漫散射技术、掠入射X射线衍射和多晶薄膜的小角衍射技术。通过具体的事例说明这些X射线散射方法在薄膜研究中的应用。
Several X-ray diffraction/scattering techniques, including grazing incident X-ray reflectivity, transverse X-ray diffuse scattering, grazing incident X-ray diffraction and X-ray small-angle diffraction, for the characterization of films and muhilayers are described. Three examples are given to show the application of these methods.
出处
《物理》
CAS
北大核心
2007年第7期516-523,共8页
Physics
基金
国家自然科学基金(批准号:10474031
10523001)
教育部新世纪人才基金(批准号:NCET-04-0463)资助项目
关键词
薄膜
X射线散射
微结构
film, X-ray scattering, microstructure
作者简介
通讯联系人．Email：xswu@nju．edu．cn
