摘要
介绍了MEMS的基本概念、MEMS系统的典型结构和特点,分析了MEMS相关学科、技术基础,对MEMS与微电子之间的关系进行了论述,并对生物领域MEMS和生物芯片相关概念和典型应用进行了较全面分析。
The basic concept of MEMS, typical structure and characteristics of MEMS system are introduced. The relative disciples fundamental technology of MEMS are analyzed. The relationship between MEMS and micro-electronics is elaborated closely, and the basic concepts and typical applications of BioMEMS and biochip are discussed comprehensively.
出处
《天津工程师范学院学报》
2005年第4期40-42,共3页
Journal of Tianji University of Technology and Education
基金
国家高技术计划(2001AA422290)天津市自然科学基金(033601711)天津市高等学校科技发展基金项目(20030509).
作者简介
刘媛（1974-），女，讲师，硕士。
