PVD薄膜生长的Monte Carlo模拟

Monte Carlo simulation of PVD thin film growth

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摘要蒙特卡罗(Monte Carlo,MC)和分子动力学是模拟薄膜生长的两种基本方法.本文结合各种PVD技术的工艺特点,介绍了薄膜生长的Monte Carlo模拟.详尽地总结了载能粒子沉积薄膜生长的Kinetic Monte Carlo模型和算法.最后指出建立精细的模型、算法并适当应用分子动力学是提高模拟可靠性的方法.

作者单英春赫晓东李明伟李垚史丽萍

机构地区哈尔滨工业大学

出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期3205-3208,共4页 Journal of Functional Materials

关键词物理气相沉积蒙特卡罗模拟薄膜生长

分类号 TB3 [一般工业技术—材料科学与工程] O439 [机械工程—光学工程]

作者简介单英春(1977-),女,黑龙江讷河人,在读博士,2002年于哈尔滨工业大学获工学硕士学位,现在哈尔滨工业大学复合材料研究所,从事防热材料研究. 通讯作者

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参考文献22

1[4]Ozawa S, Sasajima Y, Heermann D W. Monte Carlo simulations of film growth. [J]. Thin Solid Films, 1996,272:172-183.
2[6]Yang Y G, Zhou X W, Johnson R A, et al. Monte Carlo Simulaion of Hyperghermal Physical Vapor Deposition. [J].Acta Mater, 2001, 49:3321-3332.
3李言荣,杨春.薄膜生长与原子尺度的计算机模拟[J].重庆师范学院学报（自然科学版）,2002,19(3):1-6. 被引量：3
4[9]Zhou X W, Johnson R A, Wadley H N G. A Molecular Dynamics Study of Nickel Vapor Adatom Energy Effects.[J]. Acta Mater, 1997, 45(4): 1513-1524.
5[10]Yang Y G, Johnson R A, Wadley H N G. A Monte Carlo Simulation of The Physical Vapor Deposition of Nikel. [J].Acta Mater, 1997, 45(4): 1455-1468.
6杨春,李言荣.薄膜生长模型与计算机模拟[J].功能材料,2003,34(3):247-249. 被引量：15
7[13]Frenkel & Smit.分子模拟-从算法到应用.[M].北京:化学工业出版社,2002.18-118.
8[14]Gustavo J. Sibona, Sascha Schreiber, Ronald H.W. Hoppe,Bemd Stritzker, Adrian Revnic. Numerical simulation of the production processes of layered materials. [J]. Materials Science in Semiconductor Processing, 2003, 6:71-76.
9[15]Sprague J A, Gilmore C M. Molecular dynamics simulation of film-substrate interface mixing in the energetic deposition of fcc metals. [J]. Thin Solid Films, 1996, 272:244-254.
10[16]Landau D P, Pal S, Shim Y. Monte Carlo simulations of film growth. [J]. Computer Physical Communications, 1999,121- 122: 341-346.

二级参考文献10

1金家俊.分子化学反应动态学[M].上海:上海交通大学出版社,1988..
2张立德牟季美.纳米材料与纳米结构[M].北京:科学出版社,2001..
3赵宇军,姜明,曹培林.从头计算分子动力学[J].物理学进展,1998,18(1):47-75. 被引量：25
4刘祖黎,魏合林,王汉文,王均震.薄膜生长的随机模型[J].物理学报,1999,48(7):1302-1308. 被引量：34
5王晓平,赵特秀,吴锋民,林罡,吴自勤.超薄膜多中心生长过程的计算机模拟[J].物理学报,1999,48(8):1412-1419. 被引量：17
6张庆瑜,马腾才,潘正瑛,汤家镛.Au/Au(100)外延薄膜生长的计算机模拟及其微观机制研究[J].物理学报,2000,49(2):297-305. 被引量：16
7崔大复,陈凡,赵彤,师文生,陈正豪,周岳亮,吕惠宾,杨国桢,黄惠忠,张宏霞.激光分子束外延BaTiO_3薄膜最顶层表面原子平面与薄膜生长机理[J].物理学报,2000,49(9):1878-1882. 被引量：7
8魏合林,刘祖黎,姚凯伦.超薄膜生长的Monte-Carlo研究[J].物理学报,2000,49(4):791-796. 被引量：23
9杨宁,陈光华,张阳,公维宾,朱鹤孙.薄膜生长的理论模型与Monte Carlo模拟[J].物理学报,2000,49(11):2225-2229. 被引量：17
10徐毅,潘正瑛,王月霞.低能Cu_6团簇在Cu(001)表面和Au(001)表面沉积的分子动力学模拟研究[J].物理学报,2001,50(1):88-94. 被引量：14

共引文献36

1谭浚哲,朱基亮,张青磊,吴家刚,于光龙,朱建国,肖定全.沉积能量对ABO_3型薄膜生长的影响[J].四川大学学报（自然科学版）,2005,42(S1):127-130.
2杨春,李金山,李言荣.α-Al_2O_3(0001)表面吸附ZnO的DFT研究[J].高等学校化学学报,2004,25(10):1897-1900. 被引量：3
3杨春,余毅,李言荣,刘永华.α-Al_2O_3(0001)表面弛豫及其对表面电子态的影响[J].Chinese Journal of Chemical Physics,2004,17(5):537-542. 被引量：8
4刘祖黎,张雪锋,姚凯伦,黄运米.溅射沉积Cu膜生长的Monte Carlo模拟[J].真空科学与技术学报,2005,25(2):83-87. 被引量：14
5高虹,赵良举,曾丹苓,高丽娟.冷喷涂Au纳米粒子在金属表面沉积过程的分子动力学模拟[J].金属学报,2006,42(11):1158-1164. 被引量：8
6高虹,赵良举,曾丹苓,高丽娟.团簇在金属表面沉积过程的分子动力学模拟[J].重庆大学学报（自然科学版）,2007,30(3):51-55. 被引量：3
7苏清磊,董伟伟,陶汝华,邓赞红,方晓东.生长条件对脉冲激光沉积ZnO薄膜性质的影响[J].有色金属,2007,59(3):17-20. 被引量：1
8崔海涛,王永仓,段章山.PLD法制备Cu膜生长的计算机模拟与实验[J].微计算机信息,2007,23(31):197-198.
9刘方旸.基于Monte Carlo方法模拟薄膜生长[J].大学物理实验,2008,21(2):4-7. 被引量：2
10刘翠霞,杨延清,黄斌,张荣军,罗贤,任晓霞.化学气相沉积SiC膜{111}取向生长的原子尺度模拟[J].无机材料学报,2008,23(5):933-937.

1夏祝升.代数与几何联姻(初二、初三)[J].数理天地（初中版）,2005(4):12-12.
2黄勇.对于工程测绘测量技术应用的分析与研究[J].世界有色金属,2017,42(3):198-199. 被引量：10
3王世霞.多媒体在数学教学中的运用[J].新课程学习（下）,2011(5):134-134.
4张庆瑜.载能粒子沉积薄膜生长的微观机制研究[J].大连理工大学学报,1999,39(6):730-735. 被引量：6
5李健,韦习成.物理气相沉积技术的新进展[J].材料保护,2000,33(1):91-94. 被引量：21
6杨晓青.平面向量分解定理及其应用[J].数学教学,2008(5):11-13. 被引量：1
7葛晶.应用对易子求平均值[J].内蒙古科技与经济,2001(6):102-102.
8张祖伟,胡陈果.Direct Synthesis and Spectrum Analysis of CeO_2 Nanoparticles Deposited on Carbon Nanotubes[J].Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science),2009,24(1):34-37.
9杨林生,王君,陈长琦.硬质薄膜技术的最新发展[J].真空,2009,46(6):35-39. 被引量：12
10Mussie A. Habte,ChuiJie Wu.Influence of wall motion on particle sedimentation using hybrid LB-IBM scheme[J].Science China(Physics,Mechanics & Astronomy),2017,60(3):55-73.

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